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毫秒飞秒激光复合加工微小孔：数值模拟与实验验证

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代制造业中，微小孔加工作为一项关键技术，广泛应用于航空航天、电子、生物医学、微机电系统（MEMS）等众多领域。在航空航天领域，发动机喷油嘴、燃烧室等部件上的微小孔加工质量，直接影响发动机的燃烧效率和性能，进而决定飞行器的飞行安全与效率。在电子领域，印刷电路板（PCB）上的微孔用于实现电子元件的电气连接，其加工精度和质量对电子产品的小型化、高性能化起着决定性作用。生物医学领域，微流控芯片中的微小孔用于操控生物流体和细胞，是实现生物分析、诊断等功能的基础。在MEMS领域，微小孔则是构建各种微型传感器、执行