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《GB/T42706.5-2023电子元器件半导体器件长期贮
存第5部分:芯片和晶圆》最新解读
一、芯片与晶圆长期贮存为何至关重要
(一)保障供应链稳定运行
在电子产业中,芯片和晶圆作为核心部件,其供应稳定性关乎整个产业链的正常运转。以智能手机生产为例,若芯片供应中断,手机制造商可能面临生产线停滞,无法按时交付产品,进而影响下游销售渠道及相关服务行业。长期贮存能在面临突发供应问题时,如芯片制造商因自然灾害等不可抗力因素停产,企业可调用库存芯片和晶圆,维持一定时期的生产,避免供应链断裂,确保各环节有序衔接。
(二)延长产品使用周期;
合理的长期贮存可有效延缓芯片和晶圆老化。芯片内部
的电子迁移现象,在高温、高湿度等不良贮存环境下会加速,导致金属互连线损坏,影响芯片性能。而在标准规定的适宜贮存条件下,如合适的温度、湿度范围,能降低电子迁移速率,减少内部结构损伤,延长芯片使用寿命。对于如卫星、深海探测设备等对稳定性和寿命要求极高的电子设备,长期贮存的高质量芯片和晶圆可保障其在复杂环境下长期稳定运行。
(三)降低综合成本投入
从库存管理角度看,科学的长期贮存优化了库存结构。企业无需因担心供应短缺而过度囤货,减少了库存积压占用的资金。同时,降低了因芯片和晶圆在贮存过程中损坏导致的损耗成本。例如,通过采用符合标准的包装;
材料和贮存设施,可减少芯片因静电、机械损伤等造成
的报废,提高库存周转率,使企业资金得到更高效利用,增强企业经济效益与市场竞争力。
二、深度剖析标准核心内容
(一)明确标准适用范畴
本标准适用于预计贮存时间超过12个月的芯片和晶圆的长期贮存。无论是单个芯片、部分晶圆还是整个晶圆,以及带有金属结构(如引入金属层、植球植柱等)的芯片,其贮存条件和规则都在标准规范之内。同时,对于含有芯片或晶圆的通用和专用封装产品,也提供了相应操作指导,涵盖了半导体产业中各类常见的芯片和晶圆贮存场景,为不同类型产品的长期贮存提供统一规范。
(二)严格贮存要???与条件;
1.贮存环境把控:温度方面,需将芯片和晶圆贮存环
境温度控制在一定范围内,一般建议在17℃至25℃。
温度过高,芯片内化学反应速率加快,加速老化;温度过低,材料可能变脆,易产生机械损伤。湿度上,相对湿度应维持在7%至25%,湿度高于25%,水汽可能在芯片表面凝结,引发腐蚀、短路等问题;湿度低于7%,易产生静电危害。
2.包装材料选择:包装材料应具备良好的防潮、防静电性能。如采用防潮袋包装芯片,其材料能有效阻挡外界水汽进入;对于晶圆,常使用具有静电耗散性能的托盘,防止静电对晶圆造成损害,同时在包装内部填充缓冲材料,减少运输和贮存过程中的机械冲击。;
3.安全设施要求:贮存设施需配备完善的温湿度调节
设备,实时监测并调控贮存环境温湿度。同时,要有良好的接地系统,消除静电隐患;针对可能发生的火灾等安全事故,需配备相应消防设备,保障贮存过程安全。
(三)推荐前沿技术与方法
1.气体环境优化:为减少贮存过程中的氧化反应,标准推荐使用惰性气体,且对其纯度有严格要求。如在晶圆贮存中,采用高纯度氮气填充贮存容器,可有效隔绝氧气,抑制氧化反应,保护晶圆表面及内部电路结构。
2.创新包装技术:真空包装能去除包装内空气,减少氧气、水汽等对芯片和晶圆影响;正压包装通过充入惰性气体使包装内气压高于外界,防止外界污染物进入。牺牲性包装材料,如某些含抗氧化剂的包装材料,可在;
一定程度上消耗包装内残留氧气,延缓芯片和晶圆老化。
此外,随着环保意识增强,可降解包装材料在半导体贮存领域的应用也被提及,在满足贮存要求同时,减少包装废弃物对环境影响。
3.表面清洁与防护:等离子清洗技术可有效清洁芯片和晶圆表面微小颗粒、有机物等污染物,提高表面洁净度,提升产品性能与可靠性。同时,要重视静电影响和辐照防护,如在贮存区域设置静电消除装置,避免静电对芯片造成击穿等损害;对于可能受到宇宙射线等辐照影响的贮存场景,如航天领域相关芯片贮存,需采取相应屏蔽措施,减少辐照损伤。
(四)重视周期性检验与失效机理;
1.周期性检验要求:贮存芯片产品需按规定进行周期
性检验,一般每隔一定时间(如3个月或6个月)对库存芯片和晶圆进行抽检。检验内容包括外观检查,查看是否有表面腐蚀、裂纹等;电气性能测试,检测芯片的各项电参数是否在标准范围内,确保贮存过程中的质量监控,及时发现潜在问题。
2.失效机理分析:长期贮存过程中,芯片和晶圆可能因多种原因失效。引线键合强度下降,在温度、湿度等因素作用下,键合处金属原
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