T/CEMIA 030-2022半导体用正胶显影液.pdf

ICS31.030

CCSL90

团体标准

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TCEMIA0302022

半导体用正胶显影液

Positivehotoresistdeveloerforsemiconductormanufacture

pp

2022-04-20发布2022-07-20实施

中国电子材料行业协会发布

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TCEMIA0302022

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由中国电子材料行业协会提出并归口。

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本文件主要起草单位杭州格林达电子材料股份有限公司

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本文件参与起草单位北方集成电路技术创新中心北京有限公司无锡三开高纯化工有限公司

、()。

沧州信联化工有限公司晶瑞湖北微电子材料有限公司

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本文件主要起草人邢攸美李潇逸张之钧赵健胡涛李盈盈陈东良顾峻徐文干孙炜刘新雨

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王琪周利超李林佳余红刚倪芸岚陈海刚杨小平章帅迪刘永南姚艺融刘为波翁雪平傅华

高小云。

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半导体用正胶显影液

1范围

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本文件规定了半导体用正胶显影液的分类和标记要求检验方法检验规则以及标