T/CEMIA 033-2023半导体制程8英寸(200 mm)12英寸(300 mm)用石英玻璃炉管.pdf

ICS31.030

CCSL90

团体标准

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TCEMIA0332023

半导体制程英寸()

8200mm

英寸()用石英玻璃炉管

12300mm

uartzlasstubefor8in12inSemiconductorProcess

Qg

2023-06-08发布2023-09-08实施

中国电子材料行业协会发布

中国标准出版社出版

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TCEMIA0332023

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由中国电子材料行业协会提出并归口。

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本文件起草单位上海强华实业股份有限公司北京北方华创微电子装备有限公司北方集成电路

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技术创新中心北京有限公司北京凯德石英股份有限公司中建材衢州金格兰石英有限公司

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本文件主要起草人蓝呈吕红兵张婷婷余韦华周文华周韦军李军竹芦英杨慧萍曹永友

、。

张忠恕王友军

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TCEMIA0332023

半导体制程英寸()

8200mm