中倍平场显微物镜设计.docx

一、设计原则

中倍平场显微物镜设计

〔???25?，NA?0.4，L?195mm，l?

F

1mm〕

为有效掌握物像共轭距离，显微镜物镜需倒追光线！

dl?

推导：假设正追光线，则???2?

dl

??1?dl???dl，转变系统间隔及透镜厚度不易掌握像面

位臵，对共轭距的掌握不利，因此设计时需承受倒追光线的方法！

二、参数设定

u?

数值孔径输入：NA?nsinu?u??

?u???0.4?0.016

25

波段输入：D、F、C光，即一般白光入射

视场输入：物在有限距离，输入线视场〔单位：mm〕，物像颠倒，故y?

三、设计理念

y??12.5mm

?

系统总偏角为0.416，消色差双胶合物镜负担偏角最大0.15，单透镜负担偏角最大0.2，因此系统中承受2个双胶合和1个单透镜。为校正场曲并负担肯定的正偏角，单透镜承受肯定正光焦度的弯月形厚透镜。同时，为适当增大后工作距，将双胶合分为正负透镜形式，负透镜臵后。

四、设计过程〔优化〕

经PW法计算推导，得到最终镜头数据如表1所示：

表1初始数据

Surface

Object

r/mm

?

d/mm

165.358

材料

1

-6.823

0.95

ZF7

2

-11.015

2.7

3

25.29

1.96

ZK3

4

-17.022

7.5

Stop

?

7.4

6

11.722

2.38

ZK9

7

-6.546

1.19

ZF7

8

-22.91

0.32

9

3.597

4.08

ZBaF3

10

2.63

1

11 ? 0.17

K9

12

? 0.276789

M

Image

选择3个线视场：0、8.84mm、12.5mm

物方数值孔径〔ObjectSpaceNA〕：0.016

物距：165.358mm留意：

A．假设物距默认为无穷的话，此时输入数值孔径，系统将提示错误信息，因此需首先给定物距；B．输入距离不能为负值，优化过程中也应留意此项。负值的d只能消灭在反射式系统中；C．键盘上的“Insert”键是在“Lensdataeditor”中插入面，“Delete”为删除面，修改数据时，按“Backspace”退格键，不要按“Delete”删除；

D．在输入玻璃牌号的时候，留意区分ZF和ZK，常常有同学因搞混而导致数据错误；E．在进展系统优化时，不要选择转变盖玻片半径、厚度、后工作距和光阑半径作为变量！

将表1输入至ZEMAX中，得到点列图和MTF曲线如图2和图3所示：

〔本教程使用ZEMAX2025版〕

图2初始数据的点列图

图3初始数据的MTF数据

设定默认优化函数

选择工具栏Editors→MeritFunction→Tools→DefaultMeritFunction，在该选项框中选择RMS,

SpotRadius,Centroid,其它项默认即可，选择OK。为避开焦距变化过大，将其确定为初始值，即设定有效焦距EFFL为6.9〔选择第2波长〕。〔见附件-初始构造〕

优化过程

查看工具栏Analysis→AberrationCoefficients→SeidelDiagram〔或SeidelCoeffients〕，比较直观地观看系统各外表对各种像差的影响，鉴于显微物镜主要校正轴上点球差、色差和正弦差，因此可以选择红颜色的SphericalAberration作为主要观测对象。经观看觉察，第1、3、4、7、8这几个外表对球差影响较大，因此可以尝试这几个半径组合作为变量，每次优化在之前根底上增加两三个半径作为变量，不要一次增加太多变量，否则效果不肯定好。Ctrl+Z是设定变量的快捷方式。

在优化效果不好时，不要盲目连续甚至保存，而要按F3键返回，否则有可能因错误选择优化方向而钻入“死胡同”！最好的方法是，每次有效的优化都另存为一个文件，文件名可依据自己的习惯选择具有“标志性”的名称，这样便利以后回忆自己的设计过程或调用相关优化记录。A〕通过查看SeidelDiagram，首次选择r3，r4，r7半径作为变量，点击“OPT”进展自动优化〔结

果见附件-1优化半径347〕，点列图减小，MTF曲线变化不大，留意MeritFunction抱负值应为0；

连续选择变量r1，r8，r10半径作为变量，自动优化〔结果见附件-2优化半径1810〕；此时，像

距已变为0.05mm左右；

为防止像距过大波动，将其固定为0.1mm，取消像距位臵的“MarginalRayHeight”选项，连续优化〔结果见附件-3