新解读《GB_T 38389 - 2019氧化铟锡靶材化学分析方法》最新解读.pptxVIP

《GB/T38389-2019氧化铟锡靶材化学分析方法》最

新解读

一、氧化铟锡靶材的关键地位与标准意义

（一）靶材在高新技术产业中的核心角色

在现代高新技术产业蓬勃发展的浪潮下，氧化铟锡

（ITO）靶材作为极为关键的基础材料，在众多领域发挥着不可替代的作用。尤其是在平板显示行业，从我们日常使用的液晶显示器（LCD）到先进的有机发光二极管显示器（OLED），ITO靶材都是实现高质量显示的核心材料。其具备的高导电性和良好的光学透明性，能够确保显示器的画面清晰、色彩鲜艳且响应速度快。在触摸屏技术中，ITO靶材使得触摸操作能够精准地转化;

为电信号，极大地提升了人机交互的便捷性，推动了智

能手机、平板电脑等移动设备的普及与发展。

（二）标准出台的背景与深远影响

随着氧化铟锡靶材应用范围的不断拓展，对其质量和性能的要求也日益严苛。不同生产厂家的产品质量参差不齐，缺乏统一、规范的化学分析方法，导致市场上产品质量难以有效把控，严重制约了行业的健康发展。在此背景下，《GB/T38389-2019氧化铟锡靶材化学分析方法》应运而生。该标准的出台，为氧化铟锡靶材的生产、检测和质量控制提供了统一的技术依据，犹如为行业发展注入了一剂强心针。它不仅有助于规范市场秩序，提高产品整体质量，还能促进企业间的公平竞争，推动;

整个产业向更高水平迈进，对我国高新技术产业的可持

续发展具有深远的战略意义。

二、标准核心内容深度剖析

（一）明确测定元素范围

1.主量元素铟和锡

铟（In）和锡（Sn）作为氧化铟锡靶材的主要构成元素，其含量的精准测定对靶材性能起着决定性作用。铟赋予靶材良好的导电性和低电阻特性，而锡则在一定程度上影响着靶材的硬度和化学稳定性。标准中对铟和锡含量测定方法的详细规定，确保了测定结果的准确性和可靠性。例如，对于铟含量的测定，采用Na2EDTA滴定法，通过精确控制试料分解、溶液pH值以及滴定过程中的;

各种条件，能够准确测定铟的含量，为生产过程中铟的

添加量提供科学依据，保证靶材的导电性符合要求。

2.杂质元素的全面涵盖

铁（Fe）、铝（Al）、硅（Si）、铜（Cu）、铅（Pb）、镉（Cd）、镍（Ni）、铬（Cr）和铊（Tl）等杂质元素，即使含量极低，也可能对氧化铟锡靶材的性能产生显著影响。例如，铁杂质可能会引入额外的电子陷阱，降低靶材的电学性能；铅、镉等重金属杂质则可能对环境和人体健康造成潜在危害。标准将这些杂质元素纳入测定范围，体现了对靶材质量全方位把控的理念。通过电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP-AES），能够同时对多种杂质元素进行快速、准确的测定，检测限可低至0.0005-0.010，有效保障了靶材的纯度和性能。;

（二）详细测定方法解析

1.Na2EDTA滴定法测铟含量

?方法原理：试料经盐酸分解后，控制溶液的pH值在3.0-4.0这一关键区间。在此条件下，加入氟化钠掩蔽锡元素，避免其对铟含量测定的干扰。以二甲酚橙为指示剂，用乙二胺四乙酸二钠（Na2EDTA）标准滴定溶液进行滴定。随着滴定的进行，溶液中的铟离子与

Na2EDTA逐渐反应，当溶液由红色变为亮黄色时，即为滴定终点。此时，根据消耗的Na2EDTA标准溶液体积，结合相关化学反应计量关系，即可准确计算出铟含量。

?操作关键要点：在实际操作中，精确配制和标定

Na2EDTA标准溶液至关重要。标准溶液的浓度准确性;

直接影响铟含量测定结果的精度。同时，要严格控制试

料溶解过程，确保试料完全分解且不引入额外杂质。溶液pH值的控制也不容忽视，需借助精密的pH测量仪器，如pH计，确保pH值稳定在规定范围内。此外，

指示剂二甲酚橙的添加量要适中，过多或过少都可能影响终点判断的准确性。

1.碘酸钾滴定法测锡含量

?方法原理：试料首先用盐酸分解，随后加入还原铁粉进行预还原，将溶液中的高价锡离子部分还原。接着，在盐酸溶液环境中，利用金属铝片将剩余的锡离子进一步还原为二价锡。以淀粉为指示剂，用碘酸钾标准滴定溶液进行滴定。当溶液中的二价锡被碘酸钾氧化完全时，过量的碘酸钾与淀粉指示剂反应，使溶液呈现浅蓝色，;

此时达到滴定终点。通过消耗的碘酸钾标准滴定溶液体

积，依据化学反应方程式，可计算出锡含量。

?操作关键要点：碘酸钾标准滴定溶液的配制需遵循严格的操作规程，确保浓度准确。试液的还原过程是该方法的关键环节，还原铁粉和金属铝片的用量要根据试料中锡的大致