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2011-9-10单晶清洗设备培训晶清洗设备的组成单晶清洗设备的开机单晶清洗设备操作单晶清洗设备的关机概述

单晶清洗设备的组成一、单晶制绒机1、单晶制绒槽式主体/一台2、上下料台/各一个3、NaOH、IPA补液系统/一套4、纯水预热槽/一个5、电控柜/一个二、酸洗机1、酸洗槽式主体/一台2、上下料台/各一个3、电控柜/一个三、去PSG机1、去PSG槽式主体/一台2、上下料台/各一个3、电控柜/一个四、甩干机

单晶槽式制绒机：用碱性溶液（NAOH）清洗硅片表01面的污损，并在硅片表面刻蚀出金字塔形的绒面。02酸洗机：用HCL、HF去除硅片表面的金属离子。03去PSG机：用HF去除硅片表面的磷硅玻璃。04甩干机：先用水清洗硅片，再用热氮气去除硅片表05面残留的液体。06单晶清洗设备功能介绍

单晶制绒设备主体

上下料台上料台下料台

NAOH、IPA自动补液系统

纯水预热槽

电控柜内部图

压缩空气、氮气和纯水供应管

工作流程NAHO预处理60S上料台DI水喷淋25SDI水漂洗10SHF酸洗10SDI水漂洗10SNAOH、IPA、辅助剂制绒1100SDI水漂洗10SDI水漂洗30SNAOH、H2O2去损伤180S下料台单晶制绒

工作流程DI水喷淋60S酸洗上料台下料台HCL酸洗120S甩干HCL、HF酸洗120SDI水喷淋120SDI水漂洗60SDI水漂洗60S

工作流程HF酸洗120S上料台甩干下料台DI水喷淋120SDI水喷淋60SDI水漂洗60SDI水漂洗60S去PSGDI水低速喷淋30S上料高速吹N2180S卸料甩干机

制绒设备开机前检查压缩空气、氮气、纯水：阀门处于打开状态，压缩空气、氮气压力4-6barDI水CDAN2CDA调压阀N2调压阀

制绒设备开机前检查刻度标尺化学品补液槽按要求配液纯水预热槽温度达到设定值

单晶制绒设备运行及操作电控柜内各电源开关打开设备电控柜总电源，依次打开各功能电源开关

单晶制绒设备运行及操作参数设置按钮等待触摸屏显示后，进入主界面进行工艺参数设置

单晶制绒设备运行及操作点击“参数设置进入”按钮后，弹出密码框，输入密码后，按“确认”按钮即可进入参数设置项。进入参数设置画面，由工艺员对工艺参数（清洗时间、各槽温度、自动配液参数、排液时间）进行设置。

单晶制绒设备运行及操作自动补液画面点击“自动补液参数设置”按钮后，进入画面，对各槽DI水、NAOH、IPA自动补液量进行设置

单晶制绒设备运行及操作点击“时间温速度设置”按钮后，进入画面，对各槽清洗时间、及各加热槽的温度进行设置，机械臂速度设置为500MM/S，除设备调试外，一般不作改动。时间、温度、速度设置

单晶制绒设备运行及操作第三步：设置好工艺参数后，点击“返回”按钮，即可返回主菜单，然后点击“报警画面”，确认是否有报警。报警按钮弹出报警框，报警项显示为绿色，则是报警已解除，若显示为红色，则需要对报警进行手动处理。

单晶制绒设备运行及操作进行手动处理时，在主菜单中点击手动按钮即可进入各手动画面：1点击“上升”“下降”“左移”“右移”按钮即可对机械臂进行移动操作。2点击“循环泵ON”按钮即可打开或关闭各循环泵，当标识显示为绿色时，即标识泵已打开。3机械臂手动画面4循环泵手动画面5

单晶制绒设备运行及操作槽盖手动画面点击“左盖开”“右盖开”按钮即可打开盖板，标识显示为绿色即为打开状态，点击“左盖关”“右盖关”按钮即可关闭盖板。排水手动画面点击各对应槽体的“阀ON”，打开阀门排液，在排液前需对排液时间进行设置。

单晶制绒设备运行及操作排水时间设置画面手动加热画面点击时间设置按钮进行各槽的排液时间设置，以S为单位。点击“加热ON”按钮，对所对应槽进行加热，加热时“加热”标识显示为绿色。

单晶制绒设备运行及操作鼓泡加水手动画面手动补液设置点击“鼓泡阀ON”或“加水阀ON可对所需槽进行鼓泡或加水。设置好补液量，手动按“ON”按钮对所需工艺槽DI水、NAHO、IPA进行补液

单晶制绒设备运行及操作确认无报警后，