纵振复合型单足平面压电机器人设计及实验研究.pdfVIP

摘要

摘要

具备高精度和大范围运动能力的移动机器人在微机电装配、精密光学工程、

显微操作等领域有着广阔的应用前景，是机器人技术的热门研究方向。上述应

用领域的快速发展对移动机器人的运动自由度数、速度、带载能力、运动分辨

力等指标提出了严苛的要求。压电智能材料驱动型移动机器人具有响应速度快、

动作精度高、输出功率密度大、易实现多自由度运动等诸多优势，得到了广泛

的研究。然而，现有压电机器人多采用多足协同的方式实现多自由度运动，存

在结构及控制复杂、驱动足接触一致性难保证、定位精度及运动线性度差等问

题。针对这些问题，本文提出一种纵振复合型单足平面压电机器人，通过单驱

动足实现平面三自由度运动，同时兼顾快速度、大行程、强承载、μm级运动

分辨力、高线性度等运动特性。

首先，开展了单足压电机器人的构型规划与致动原理分析。采用模态复合

作为基本致动原理，通过对比分析压电金属复合弹性体前四阶纵向、弯曲振动

模态及激励方法，以提高驱动足振动幅度及实现高效率机电耦合转换为原则，

选取一阶纵振模态复合作为机器人的基本工作原理，并对比分析了一阶纵振的

典型激励方法。以采用单驱动足实现快速度、强承载以及平面三自由度运动为

设计目标，提出了单足压电机器人的基本构型，确定了压电陶瓷片布置方式、

电学配置方法及激励信号形式。进一步建立驱动足质点具有多自由度致动能力

的空间椭圆轨迹解析方程，研究单足压电机器人实现直线运动及旋转运动时对

应质点运动轨迹的激励方法，揭示了单足压电机器人运动特性电控调节规律；

针对连续正弦和脉冲簇正弦两种激励方式，研究了单足压电机器人单周期致动

原理，并确定了激励方案。

然后，完成了单足压电机器人的结构优化设计和动力学特性分析。建立了

单足压电机器人的有限元参数化模型，通过模态仿真分析确定模态特征频率的

参数敏感度曲线。将工作频率大于25kHz、足端振动幅度大于20μm作为优

化目标，以机器人整体结构小型化为约束条件，以高灵敏度参数为主要调整参

数，通过单足压电机器人结构参数调整实现了结构参数优化，以及三个方向一

阶纵振模态之间的频率简并，确定了单足压电机器人具体结构尺寸。通过瞬态

动力学仿真分析，获得了单足压电机器人在不同振动输入条件下驱动足表面各

质点振动响应曲线和运动轨迹图谱，验证了单足压电机器人多自由度致动轨迹

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形成机理的可行性，通过改变激励信号探索出驱动足运动特性的电控调节规律。

获得了激励信号相位差对椭圆致动轨迹合成的影响规律，证明了改变激励信号

相位差可实现运动特性恒功率调节。

最后，研制单足压电机器人样机，开展了实验特性测试。振动特性测试结

果表明工作模态特征频率测试结果与有限元仿真结果一致性较好。机器人可实

现最大直线运动速度为712.1mm/s，直线运动分辨力为0.72μm，可实现最大

旋转速度919°/s，运动尺度实现了微观至宏观的跨越。通过控制三相激励信号

的幅值比和相位差，可实现机器人沿面内任意方位直线运动，开环控制状态下

直线运动距离200mm时角度偏差小于4.41°，运动线性度误差小于7.7%。机

器人最大可承受3000g负载，最大拖曳力为1144mN。在不同表面粗糙度的

运动基底上单足压电机器人均可实现平面三自由度运动，可顺利跨越宽度为

25mm的沟壑，受到随机振幅扰动及球体撞击时压电机器人仍按照预定方向实

现运动，机器人具备较好的运动鲁棒性。试验结果充分表明，本文所研制的纵

振复合型单足平面压电机器人具有快速度、强承载、高分辨力、高线性度等显

著优势。

关键词：单足压电机器人；纵振模态复合；平面三自由度；椭圆轨迹

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Abstract

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Themobilerobotwithhighprecisionandwiderangeofmot