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中国资源综合利用Vol.42 No.11

环境保护ChinaResourcesComprehensiveUtilization2024年11月

集成电路制造工业大气环境影响评价分析

李观艳

（广州浔峰环保科技有限公司，广州 510030）

摘要：近年来，我国集成电路产业迅速发展，企业逐步在产业园形成规模化聚集。然而，其制造过程涉及

诸多种类的化学品，产生多种有毒有害气体，对区域环境产生显著影响。因此，做好大气环境影响评价是

确保项目建设环保可行性的重要依据。从工艺废气产生、废气排放标准和废气治理措施等方面对其大气环

境影响评价进行详细阐述，并探讨行业环评应关注的主要问题，为环境影响评价从业人员提供参考。

关键词：集成电路制造工业；工艺废气；大气；环境影响评价

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