杂质原子作为量子构件对无结硅纳米线晶体管输运行为的影响及机制研究.docx

杂质原子作为量子构件对无结硅纳米线晶体管输运行为的影响及机制研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息技术的飞速发展，集成电路作为现代电子设备的核心部件，其性能的提升对于推动整个信息产业的进步至关重要。自1947年晶体管发明以来，集成电路技术遵循摩尔定律，经历了飞速的发展，晶体管尺寸不断缩小，集成度持续提高，使得电子设备的性能不断提升，成本不断降低，应用领域也日益广泛。从最初的计算机、通信设备，到如今的智能手机、物联网设备、人工智能硬件等，集成电路已成为现代社会不可或缺的关键技术。

然而，随着集成电路特征尺寸缩小到亚10纳米尺度，传统的金属-氧化物-半导体场效应晶体管（M