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基于铌酸锂薄膜的微纳光子器件的设计与应用研究

目录

基于铌酸锂薄膜的微纳光子器件的设计与应用研究（1）．．．．．．．．．．4

一、内容描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1铌酸锂薄膜简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.2微纳光子器件发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.3研究意义与应用前景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

二、铌酸锂薄膜制备与性能研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.1铌酸锂薄膜制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.2薄膜性能表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

2.3薄膜的制备工艺优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

三、微纳光子器件设计理论及关键技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.1微纳光子器件设计理论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

3.2关键技术挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

3.3设计软件与工具．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

四、基于铌酸锂薄膜的微纳光子器件设计实例．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

4.1光波导器件设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

4.2光电探测器设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

4.3调制器与开关器件设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

五、基于铌酸锂薄膜的微纳光子器件应用研究领域．．．．．．．．．．．．．．28

5.1通信领域应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

5.2光学传感领域应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

5.3生物医学领域应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

5.4其他潜在应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

六、实验验证与性能评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

6.1实验验证方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

6.2性能评估指标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

6.3实验结果分析与讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

七、总结与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

7.1研究成果总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

7.2展望未来研究方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

7.3对产业发展的建议与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

基于铌酸锂薄膜的微纳光子器件的设计与应用研究（2）．．．．．．．．．48

内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

1.2研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

1.3论文结构安排．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52

铌酸锂薄膜的特性与应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52

2.1铌酸锂薄膜的物理化学特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55

2.2铌酸锂薄膜在光子器件中的应用现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55

2.3铌酸锂薄膜的制备与改性技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．