4.第四章--三氯氢硅的合成（146页）.pptxVIP

新特能源多晶硅人才培训项目——

课程名称：多晶硅工艺学

第四章三氯氢硅的合成

授课教师：艾沙；王永伟

新疆大学化学化工学院制作

新疆大学

新特能源

XINTE

知识目标

1.三氯氢硅还原生产多

晶硅基本流程

2.三氯氢硅还原生产操

作要点和质量要求。

能力目标

1.理解三氯氢硅还原生产多晶硅的原理、基本流程

2.掌握三氯氢硅还原操作要点

3.了解三氯氢硅还原生产多晶硅质量要求

工艺条件及安全

主要设备

氯化氢合成工艺

三氯氢硅还原原理及影响因素

目录

01

02

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04

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SolarCell

SliceintoWafersMultigrainWaferProcess

多晶硅片的生产流程包括：多晶原料清洗、检测→坩埚喷涂→多晶铸锭→硅锭剖方→硅块检验→去头尾→磨面、倒角→粘胶→切片→硅片脱胶→硅片清洗→硅片检验→硅片包装→硅片入库

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MeltStarttoGrow

ContinuetoGrow

CutintoBricks

FinishedIngot

CornersFreezeLast

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二、多晶硅片生产流程

mc-SiliconWaferProduction-BasicSteps

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二、多晶硅生产方法

硅沙

单晶硅拉晶炉

切片单晶硅棒

单晶硅片

单晶硅电池

集成

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还原

拉晶

加工

光伏组件

多晶硅铸锭炉

铸锭

光伏产业链见右图

工业硅

提纯

多晶硅锭

多晶硅片

多晶硅电池

集成

多晶硅料

加工

切片

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二、多晶硅生产方法

多晶硅生产主要有化学法与物理法，见下图。

改良西门子法

硅烷法

流化床法

通过造渣精炼、酸洗、定向凝固等方式提纯

化学法

物理法

多晶硅的生产方法

改良西

门子工

艺技术

主流成熟技术(国外80%、国内95%采用该技术),闭环清洁生产；有进一步节能、降耗、减排潜力。

硅烷法

工艺技

术

电耗相对较低，有节能优势；大规模生产中的安全风险、废物循环处理等问题有

待解决；

冶金法工

投资低、流程短，成本低；目前产品纯度

艺技术

与质量稳定性有待提高，以实现规模化

生产和应用

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多晶硅生产方法对比见下图：

●生产制造高纯多晶硅的办法

主要有三大流派，即：

●用SIMENS法(又称SiHCI₃法)生产多晶硅棒；

●用ASiMi法(又称SiH法)生产多晶硅棒：

●利用Sil硅源制造颗粒状多晶硅。

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●(SiHCI₃法)制造多晶硅

●该法于1954年推出，随即淘汰了当时使用的SiCI锌还原法，而成为迄今一直使用的方法。它的第一步，是在250～350℃的

温度下让冶金硅粉末和氯化氢在流化床上

反应；

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SIMENS(西门子)法

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SIMENS(西门子)法

·第二步，是对SiHCI₃进行分馏，在这一过

程中可以把具有不同沸点的氯化物分离出来；第三步，是硅的沉积。多晶硅反应炉一般均采用单端开口的钟罩形式。通常多晶硅的沉积反应要进行200～300h,使沉积

在硅桥上的硅棒直径达到

●150-200mm。

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ASiMi法(SiH法)

·ASiMi法(SiH法)制造多晶硅

·20世纪60年代末期，ASiMi公司(美国先进硅材料公司简称AsiMI(阿斯米公司)公司总部位于美国蒙大拿州比优特城。生产超高纯度多晶硅和硅烷气体，是世界最大的硅烷气体生产和销售商。)提出了用SiH作为原料生产多晶硅。

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ASiMi法(SiH法)

●利用SiH原料制造多晶硅棒，一般使用金属钟型罩炉。在高温时，S