半导体温控设备，全球前25强生产商排名及市场份额（by QYResearch）.pdf

全球市场研究报告

半导体温控设备全球市场总体规模

半导体温控设备，也叫半导体专用温控设备（Chiller），主要用于半导体制造过程中精确控制反应室的温度。

半导体专用温控设备利用制冷循环和工艺冷却水的热交换原理通过对半导体工艺设备使用的循环液的温度、

流量和压力进行高精密控制，以实现半导体工艺制程的控温需求，是集成电路制造过程中不可或缺的关键

设备。依据不同工艺制程要求控制给定温度的循环液流经半导体工艺设备反应腔内的电极或其壁面，将热

量带入半导体专用温控设备，半导体专用温控设备通过热交换器将热量传递给制冷剂，再通过制冷剂将热

量释放给工艺冷却水，从而实现对工艺制程的温度控制。

据QYResearch调研团队最新报告“全球半导体温控设备市场报告2025-2031”显示，预计2031年全球半

导体温控设备市场规模将达到12.3亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为5.9%。

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图.半导体温控设备，全球市场总体规模

GlobalMarketSize($Mn)

202020252031

如上图表/数据，摘自QYResearch半导体研究中心最新报告“全球半导体温控设备市场研究报告2025-2031”.

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图.全球半导体温控设备市场前25强生产商排名及市场占有率（基于2025年调研数据；目前最新数据

以本公司最新调研数据为准）

全球市场主要企业排名

AdvancedThermalSciences(ATS)

ShinwaControls

京仪装备

Unisem

ThermoFisherScientific

FST(FineSemitechCorp)

SMCCorporation

Techist

Ferrotec

GST(GlobalStandarardTechnology)

阿尔西制冷

LAUDA-Noah

SolidStateCoolingSystems

PTC,Inc.

Mydax,Inc.

LegacyChiller

Ebara荏原

CJTechInc

Thermonics(inTESTTher