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摘要
聚二甲基硅氧烷（polydimethylsiloxane,PDMS）在微流控芯片技术中有非常广泛
的应用，PDMS弹性体打孔是芯片加工中重要的工作环节，理想的PDMS微流控芯片
进出样接口的孔应具备尺寸可控、形位公差小、无裂纹等特
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