工业产品几何量检测 课件 4-1-4-2干涉法测量表面粗糙度测量方法 .pptx

模块四零件表面粗糙度检测201XX工业产品几何量检测

知识点：干涉法测量表面粗糙度一干涉显微镜仪器简介任务九零件表面粗糙度检测二测量方法

测量方法2.干涉显微镜仪器光学系统a.将被测件表面向下。置于仪器的工作台上，见图所示；b.手轮3转到目镜的位置，松开目镜2的螺钉，拔出目镜2，并从目镜管中观察。若看到两个灯丝像，则调节光源8，使两个灯丝像重合。然后插上目镜，锁紧螺钉；

测量方法c.旋转遮光板调节手轮13，遮住一束光线，用手轮转动工作台滚花盘，对被测表面调焦，直至看到清晰的表面纹路为止，再旋转遮光板调节手轮13，视场中出现干涉条纹。d.缓慢调节手轮9、10、11，使之得到清晰的干涉条纹。再旋转方向调节手轮14，以改变干涉条纹的方向，使之垂直于加工痕迹；见图所示。

测量方法e.在干涉条纹的取样长度内，选5个最高峰和5个最低谷进行测量、读数并记录。干涉条纹弯曲度的平均值△h用下式计算。⊿h=f.干涉条纹的间隔宽度，可取三个不同位置的平均值：b=

测量方法g.一般在5个取样长度上分别测出5个△h值，以其平均值作为工件的表面粗糙度：h.根据定义也可以测出轮廓最大高度RY：RY=h峰max－h谷mini.作合格性判断。

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