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材料现代测试方法电子探针显微分析X射线能谱图上，峰位表示X射线的能量，峰高则反映X射线的强度。根据峰位（特征X射线的能量）可以检测出试样中存在何种元素，即进行化学成分定性分析。根据峰的高度（特征X射线的强度）可对试样中的元素进行定量和半定量分析。*第31页，共48页，星期日，2025年，2月5日材料现代测试方法电子探针显微分析*第32页，共48页，星期日，2025年，2月5日材料现代测试方法电子探针显微分析*第33页，共48页，星期日，2025年，2月5日材料现代测试方法电子探针显微分析11.4波谱仪与能谱仪的比较和波谱仪相比，能谱仪具有以下几方面的优点：(1)能谱仪探测X射线的效率高。因为Si(Li)探头可以安放在比较接近样品的位置，因此它对X射线源所张的立体角很大；此外，X射线信号直接由探头收集，不必通过分光晶体衍射，不存在衍射导致的强度损失。Si(Li)晶体对X射线的检测率极高，因此能谱仪的探测效率比波谱仪高。*第34页，共48页，星期日，2025年，2月5日材料现代测试方法电子探针显微分析(2)能谱仪分析速度快。能谱仪可在同一时间内对分析点内所有元素的X射线光子的能量进行测定和计数，在几分钟内就可以得到定性分析结果，而波谱仪只能逐个测量每种元素的特征波长。(3)能谱仪的结构比波谱仪简单。能谱仪没有机械传动部分，因此稳定性和重复性都很好。(4)能谱仪对样品的要求比波谱仪更低。能谱仪不必聚焦，因此对样品表面没有特殊要求，适合于粗糙表面的分析工作。*第35页，共48页，星期日，2025年，2月5日材料现代测试方法电子探针显微分析但是，和波谱仪相比，能谱仪存在以下不足：(1)能谱仪的分辨率比波谱仪低。波谱仪的分辨率较高，约5~10eV；而能谱仪的分辨率较低，在145~155eV左右，能谱仪给出的波峰比较宽，容易重叠。(2)能谱仪可分析的元素范围比波谱仪窄。(波谱仪可以分析4Be~92U，能谱仪可分析11Na~92U)能谱仪Si(Li)检测器的Be窗口限制了超轻元素特征X射线的测量，只能分析原子序数大于11的元素；而波谱仪可以测定原子序数从4到92之间的所有元素。*第36页，共48页，星期日，2025年，2月5日材料现代测试方法电子探针显微分析(3)能谱仪的谱失真比波谱仪更严重。波谱仪不存在谱失真的问题；能谱仪造成谱失真的因素较多，如峰重叠、电子束散射等。因此，能谱仪的探测极限（谱仪能测出的元素的最小百分浓度）要比波谱仪低。波谱仪的探测极限约0.01~0.1%，能谱仪的探测根极限为0.1~0.5%。*第37页，共48页，星期日，2025年，2月5日第1页，共48页，星期日，2025年，2月5日本章主要内容11.1电子探针的结构与工作原理11.2X射线波长分散谱仪11.3X射线能量分散谱仪11.4波谱仪与能谱仪的比较11.5电子探针的基本功能11.6电子探针对试样的要求材料现代测试方法电子探针显微分析*第2页，共48页，星期日，2025年，2月5日材料现代测试方法电子探针显微分析11.
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