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硅碳氮薄膜制备工艺与性能关联的深度剖析

一、引言

1.1研究背景

在材料科学领域不断探索与创新的进程中，新型材料的研发始终是推动各行业技术进步的关键驱动力。硅碳氮（SiCN）薄膜作为一种极具潜力的新型三元功能薄膜材料，凭借其独特的原子组成和化学键合方式，展现出一系列优异的综合性能，在众多领域引起了广泛关注并展现出巨大的应用潜力。

SiCN薄膜最显著的特性之一是其高硬度。其硬度可与传统的硬质材料相媲美，甚至在某些制备条件下超越了部分常见硬质材料。例如，通过特定的物理气相沉积（PVD）工艺精确控制制备参数，所获得的SiCN薄膜硬度能够达到相当高的水平。这种高硬度特性使得SiCN薄