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高功率脉冲磁控溅射TiN薄膜性能调控：参数与机制的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料科学领域，薄膜材料凭借其独特的物理、化学性质，在众多行业中发挥着关键作用。氮化钛（TiN）薄膜作为其中的重要一员，以其高硬度、高耐磨性、良好的化学稳定性和独特的金黄色外观等特性，被广泛应用于切削刀具、模具、装饰材料、微电子器件等多个领域。

在切削刀具领域，TiN薄膜作为涂层能够显著提高刀具的硬度和耐磨性，降低刀具与工件之间的摩擦系数，有效延长刀具的使用寿命，提高加工精度和效率。例如在金属切削加工中，涂覆TiN薄膜的刀具能够承受更高的切削力和切削温度，减少刀具的磨损和破损，从而提高加工质量