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X射线荧光分析导论
电子波谱1Hz-1kHz1kHz-1014Hz1014Hz-1015Hz1015Hz-1021Hz超低频率电磁波无线电波微波红外线可见光伽马射线紫外线LowenergyHighenergyX射线
Theory入射X射线轰击原子的内层电子，如果能量大于它的吸收边，该内层电子被驱逐出整个原子〔整个原子处于高能态，即激发态〕。较高能级的电子跃迁、补充空穴，整个原子处于低能态，即基态。由高能态转化为低能态，释放能量。ΔE=Eh-El.能量将以X射线的释放，产生X射线荧光。
TheHardwareSourcesOpticsFiltersTargetsDetectors
SourcesEndWindowX-RayTubesSideWindowX-RayTubesRadioisotopesOtherSourcesScanningElectronMicroscopesSynchrotronsPositronandotherparticlebeams
EndWindowX-RayTubeX-rayTubesVoltagedetermineswhichelementscanbeexcited.Morepower=lowerdetectionlimitsAnodeselectiondeterminesoptimalsourceexcitation(applicationspecific).
SideWindowX-RayTubeBeWindowSiliconeInsulationGlassEnvelopeFilamentElectronbeamTarget(Ti,Ag,Rh,etc.)CopperAnodeHVLead
RadioisotopesIsotopeFe-55Cm-244Cd-109Am-241Co-57Energy(keV)5.914.3,18.322,8859.5122Elements(K-lines)Al–VTi-BrFe-MoRu-ErBa-UElements(L-lines)Br-II-PbYb-PuNonenoneWhileisotopeshavefallenoutoffavortheyarestillusefulformanygaugingapplications.
OtherSourcesSeveralotherradiationsourcesarecapableofexcitingmaterialtoproducex-rayfluorescencesuitableformaterialanalysis.ScanningElectronMicroscopes(SEM)–Electronbeamsexcitethesampleandproducex-rays.ManySEM’sareequippedwithanEDXdetectorforperformingelementalanalysisSynchotrons-ThesebrightlightsourcesaresuitableforresearchandverysophisticatedXRFanalysis.PositronsandotherParticleBeams–Allhighenergyparticlesbeamsionizematerialssuchthattheygiveoffx-rays.PIXEisthemostcommonparticlebeamtechniqueafterSEM.
SourceModifiersSeveralDevicesareusedtomodifytheshapeorintensityofthesourcespectrumorthebeamshapeSourceFiltersSecondaryTargetsPolarizingTargetsCollimatorsFocusingOptics
SourceFiltersFiltersperformoneoftwofunctionsBackgroundReductionImprovedFl
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