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单晶硅直拉法制备设备结构设计
目录
单晶硅直拉法制备设备结构设计（1）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
一、内容简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
二、单晶硅材料特性及直拉法工艺概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
单晶硅材料基本性质．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
直拉法制备单晶硅工艺简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
工艺过程中的关键参数．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
三、单晶硅直拉法制备设备结构设计原则及要求．．．．．．．．．．．．．．．．．9
设计原则．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
设备性能要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
安全性与可靠性考虑．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
四、设备主要组成部分及结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
原料处理系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
加热与温控系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
拉晶与旋转系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
气体保护与环境控制系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
五、设备结构优化与创新设计方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
结构优化分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
创新设计思路及方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
预期效果评估及实验验证方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
六、单晶硅直拉法制备设备的工艺流程设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
工艺流程概述及流程图设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
关键工艺环节分析与优化措施．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
单晶硅直拉法制备设备结构设计（2）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
1.3研究内容及方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
2.1单晶硅材料特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
2.2直拉法制备原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
2.3设备结构设计理论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
设备结构设计要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46
3.1工艺参数要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
3.2设备性能指标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50
3.3安全与环保要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
设备总体设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52
4.1设备布局方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54
4.2主要设备选型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55
4.3辅助系统设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56
关键部件设计．．．．．．．．．．．．．．．
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