电气测试技术（第5版）课件-电容式传感器.pptx

20June2025电容式传感器1电容式传感器的工作原理极其特性2测量电路3电容传感器的特点及其应用范围

20June20251电容式传感器的工作原理极其特性图3-60平板电容器原理图3-60为平板电容器原理图，若忽略其边缘效应，其电容量C为：+++dA?d、A或ε发生变化时，都会引起电容的变化。改变极板面积的变面积式；改变极板距离的变间隙式；改变介电常数的变介电常数式。

20June20251.1变气隙式电容传感器及其特性图3-60中，设在被测量作用下，动极板向上移动Δd，其电容量增加，电容变化量为：式中，C0为初始电容量，。在时，将上式展开成麦克劳林级数：若动极板向下位移Δd，同理可得：

20June2025由式（3-71）和式（3-72）可见，变气隙式电容传感器的特性是非线性的。若，忽略高次方非线性，方可认为其特性是线性的，即： 因此，可得其灵敏度为： 变气隙式传感器的特点是灵敏度高，但非线性严重，通常取之间。

20June20251.2变面积式电容传感器及其特性角位移变面积型见图3-61a，当转动动片一个角度