低温大行程高精度直线扫描机构设计与分析.pdfVIP

摘要

为了同时实现多种大气成分的高时空效率测量，大气光谱探测技术是重要手段之

一。但由于大气中绝大部分气体分子量小，形成的红外特征吸收谱线很窄，若探测仪的

光谱分辨率不够高，将无法准确分辨和识别。

其中干涉仪扫描机构是光谱探测实现光程扫描调制的重要机构，其最大光程差、精

度及速率稳定性的高低直接影响探测成像质量。据了解现有设计均基于摆臂式和直线式

扫描，摆臂式光程短，当光程大时，光程差随转角呈非线性变化，造成偏离光路误差增

大；直线式能实现大机械行程，但精度差稳定性低，且目前干涉仪扫描机构均无法满足

在180K超低温条件中运行。为此本文提出了一种适用于超低温条件，大光程、高精度

的直线扫描机构来实现光谱仪的高分辨率扫描。

本文设计的扫描机构采用直线式，利用直接驱动直线电机和高精度THKLM双滑

块导轨来保证整个系统刚度和运动精度，针对常温、低温试验测试环境及在轨运行环境

设计了不同的传感器，设计自锁环节在扫描机构发射前后进行锁定。分析整体机构误差

因素存在于导轨的平行度和直线度误差上，应用MonteCarlo方法对误差进行合并与分

配，并根据现有的工艺加工水平验证是否合理。另一方面将“重复控制”算法进行改进

插入到原有的模型中，有效的抑制大行程直线导轨产生的摩擦力矩。最后对扫描机构进

行建模仿真，结合试验结果进行分析，扫描机构达到了具有高刚度、速率不稳定性优于

0.5%、X、Y、Z三个方向跳动量小于0.01mm的高精度，具有较大机械运动行程±85mm、

大光程差±34cm，以及装配简单、无传动环节，适用于180K超低温外太空环境等优良

性能。论文突破了温度的限制，有效避免温度对光路的影响，另一方面突破了大行程直

线式扫描机构不稳定、往复精度差的缺陷，提高了光谱分辨率，为空间光谱成像技术向

着更高光谱分辨能力方向作了相关研究。

关键词：超光谱探测高分辨率大行程扫描机构

Abstract

Inordertoachievehighspace-timeefficiencymeasurementofmultipleatmospheric

componentsatthesametime,atmosphericspectrumdetectiontechnologyisoneofthe

importantmethods.However,duetothesmallmolecularweightofmostgasesinthe

atmosphere,theinfraredcharacteristicabsorptionspectrumformedisverynarrow.Ifthe

spectralresolutionofthedetectorisnothighenough,itwillnotbeabletoaccurately

distinguishandidentify.

Theinterferometerscanningmechanismisanimportantmechanismforopticalpath

scanningmodulationinspectraldetection,anditsmaximumopticalpathdifference,accuracy

andratestabilitydirectlyaffectthedetectionimagingquality.Itisunderstoodthattheexisting

designsarebasedonswing-armandlinearscanning,andtheswing-armtypehasashort

opticalpath.Whentheoptical