压电陶瓷驱动器：非线性建模解析与高效控制策略探究.docx

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2025-06-23 发布于上海
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压电陶瓷驱动器：非线性建模解析与高效控制策略探究.docx

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压电陶瓷驱动器：非线性建模解析与高效控制策略探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的背景下，精密制造、生物医学、光学工程等领域对高精度运动控制的需求日益增长。压电陶瓷驱动器（PiezoelectricCeramicActuators，PCA）作为一种重要的微位移驱动元件，凭借其分辨率高、响应速度快、输出力大、体积小且结构简单等显著优势，在这些领域中发挥着不可或缺的关键作用，成为实现高精度运动控制的核心部件。

在精密制造领域，随着电子设备不断向小型化、集成化方向发展，对零部件加工精度的要求已达到纳米级。例如，在半导体芯片制造过程中，光刻环节需要精确控制曝光位置，压电陶瓷驱