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陶瓷微型零件软刻蚀成形技术与缺陷控制策略研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的进程中，陶瓷微型零件凭借其独特的物理化学性质，如高硬度、高强度、耐高温、耐腐蚀以及良好的绝缘性等，在众多领域展现出了不可或缺的应用价值。在电子信息领域，随着电子产品不断向小型化、集成化方向发展，陶瓷微型零件被广泛应用于集成电路基板、电子封装、微型传感器等关键部件。例如，在芯片制造中，陶瓷基板能够为芯片提供稳定的支撑和良好的散热性能，有效保障芯片的正常运行；微型陶瓷传感器则可实现对微小物理量的精确感知，为电子设备的智能化控制提供关键数据支持。

在生物医学领域，陶瓷微型零件同样发挥着重要作用。由