电子衍射原理及应用.pptVIP

高功率激光玻璃研发中心电子衍射原理及应用第1页，共21页，星期日，2025年，2月5日一、电子衍射的特点二、电子衍射原理之粒子的波粒二象性三、电子衍射原理之布拉格定律四、电子衍射原理之倒易点阵与爱瓦尔德球图解法五、应用之一：研究半导体材料六、应用之二：研究各种金属合金七、应用之三：研究各类钢的不同相八、其他应用第2页，共21页，星期日，2025年，2月5日一、电子衍射的特点电子束与晶体相互作用时，其原子散射因子比X射线的原子散射因子约大一万倍，故在荧光屏上可以清晰的看见衍射花样，暴光时间短，只需数秒即可。电子衍射中由于衍射束的强度有时几乎与透射束相当，因此有必要考虑它们之间的交互作用。由于电子束能在电磁场中聚焦，因此可以对微小区域（如1平方微米）进行衍射分析，这有利于微区、微量的物相鉴定。由于晶体对电子的散射本领大，电子束较X射线穿透本领弱，因此电子衍射只能对极薄样品进行分析，给工作带来一定局限，但它却适于研究微晶、表面和薄膜的晶体结构。第3页，共21页，星期日，2025年，2月5日19世纪后半期，电磁理论成功地解释了光的干涉、衍射、偏振等现象，建立了光的波动图象，但到了二十世纪初，人们为解释热辐射、光电效应、康普顿效应，又不得不将光当作微粒来处理。尤其爱因斯坦提出了光子的概念，建立了质能转换方程E=h?的关系后，更使人认识到光是具有波粒二象性的物质。二、电子衍射原理之粒子的波粒二象性第4页，共21页，星期日，2025年，2月5日德布罗意假设：实物粒子具有波粒二象性。（1924年）粒子性：E，p波动性：λ，ν——德布罗意公式与实物粒子相联系的波称德布罗意波或物质波。若c，则m=m0；若→c，则m=γm0二、电子衍射原理之粒子的波粒二象性h-普朗克常量6.626x10-34J/s第5页，共21页，星期日，2025年，2月5日RdQTSAλθBB’θA’三、电子衍射原理之布拉格定律布拉格方程一般形式第6页，共21页，星期日，2025年，2月5日通常透射电镜的加速电压为100-200KV，电子波的波长λ在10-2-10-3nm左右常见晶体的晶面间距d在1nm左右所以Sinθ很小，也就是入射角θ很小.入射束与衍射晶面稍有角度就能产生衍射.三、电子衍射原理之布拉格定律衍射角θ的解释：第7页，共21页，星期日，2025年，2月5日倒易点阵：晶体的电子衍射（包括X射线单晶衍射）结果得到的是一系列规则排列的斑点，电子衍射斑点就是与晶体相对应的倒易点阵中某一截面上阵点排列的像。倒易矢量:在倒易点阵中，由原点O指向任意坐标为hkl的阵点的矢量ghkl为：ghkl=ha*+kb*+lc*式中hkl为正点阵中的晶面指数倒易矢量g和衍射晶面间距的关系ghkl＝1/dhkl具体看固体物理课本p41页四、电子衍射原理之倒易点阵与爱瓦尔德球图解法第8页，共21页，星期日，2025年，2月5日以O为球心，1/λ半径作一个球,满足布拉格方程的几何三角形一定在该球的某一截面上，三角形的三个顶点A，O*，G均落在球面上。OO*透射束，OG衍射束，θ衍射角，O*G＝1/dhkl＝ghklA*o*GAΘO*O1/d1/λ1/λ爱瓦尔德球图解法（它实际上是布拉格方程的几何表示。）：把布拉格方程变形为

Sinθ=(1/d)/(2/λ)四、电子衍射原理之倒易点阵与爱瓦尔德球图解法第9页，共21页，星期日，2025年，2月5日四、电子衍射原理之倒易点阵与爱瓦尔德球图解法总结：（1）爱瓦尔德图解法直观地用几何图形表达了布拉格方程。爱瓦尔德球内的三个矢量,清楚地描述了入射束、衍射束和衍射晶面之间的相对关系。（2）落在球面上的倒易阵点代表了参与衍射的晶面，同时也是衍射斑点的直观反映。因此，倒易点阵是电子衍射斑点的直观反映，每个衍射斑点代表一个倒易点阵，而一个倒易点阵代表正点阵中的一组晶面。（3）因此，根据衍射斑点的排列方式，通过坐标变换，可推测出整空间中各衍射晶面的相对方位，从而的晶体的晶体结构（这就是电子衍射斑点的标定）如果知道了ghkl矢量的排列方式，就可推得正空间对应的衍射晶面的方位了，这就是电子衍射分析要解决的主要问题。第10页，共21页，星期日，2025年，2月5日电子衍射应用第11页，共21页，星期日，2025年，2月5日电子衍射的应用电子衍射和X射线衍射一样，可以用来作物相鉴定、测定晶体取向和原子位置。由于电子衍射强度远