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数字集成电路参数检测能力验证方法研究
目录
文档综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.3研究目标与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
数字集成电路参数检测理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
2.1数字集成电路基本概念．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
2.2关键参数定义与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
2.3参数检测原理与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
2.4影响参数精度的因素分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
数字集成电路参数检测能力验证指标体系构建．．．．．．．．．．．．．．．16
3.1验证指标体系设计原则．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
3.2检测能力指标选取．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
3.3指标权重分配方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
3.4指标体系验证与优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
基于仿真实验的检测能力验证方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
4.1仿真平台搭建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
4.2仿真实验方案设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
4.3仿真数据采集与分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
4.4检测能力评估结果．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
基于实际样品的检测能力验证方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
5.1实验样品选择与准备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
5.2实验方案设计与实施．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
5.3实验数据采集与处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
5.4检测能力评估结果．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
检测能力验证方法对比分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
6.1仿真实验与实际样品验证结果对比．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
6.2不同验证方法的优缺点分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
6.3影响验证结果的因素分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
6.4最佳验证方法选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43
提升数字集成电路参数检测能力的途径．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
7.1检测设备与技术的改进．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
7.2检测算法与模型的优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
7.3检测人员素质的提升．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
7.4检测流程与标准的完善．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50
结论与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52
8.1研究结论总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54
8.2研究不足与局限性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55
8.3未来研究方向展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56
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