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实验数据记录

2014年4月30日下午：

实验用具和材料，酸洗、碱洗硅片，保存于无水乙醇中备用

硅片在HF-AgNO3体系中反应，HF溶液浓度为4.0mol/L，AgNO3溶液浓度为

15.0mmol/L

反应时间及样品数分别为：60s*2片；90s*2片；120s*2片。

60℃烘干保存

2014年5月2日下午：

实验用具和材料，酸洗、碱洗硅片，保存于无水乙醇中备用

硅片在HF-AgNO3体系中反应，HF溶液浓度为4.0mol/L，AgNO3溶液浓度为

15.0mmol/L，反应时间为60s，样品数为12片

在MACE溶液中反应，HF溶液浓度为5.0mol/L，反应时间为30min

H2O2浓度及样品数分别为：0.2mol/L*2片；1.0mol/L*2片；2.0mol/L*2片；

3.0mol/L*2片；4.0mol/L*2片；5.0mol/L*2片

浓硝酸淋洗，60℃烘干保存

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对4月30日和5月2日样品进行SEM检测

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实验用具和材料，酸洗、碱洗硅片，保存于无水乙醇中备用

硅片在HF-AgNO3体系中反应，HF溶液浓度为4.0mol/L，AgNO3溶液浓度为

15.0mmol/L

硅片在HF-AgNO3体系中反应，HF溶液浓度为4.0mol/L，AgNO3溶液浓度为

15.0mmol/L，反应时间为30s，样品数量为12片

在MACE溶液中反应，HF溶液浓度为5.0mol/L，反应时间为30min

H2O2浓度及样品数分别为：0.2mol/L*2片；1.0mol/L*2片；2.0mol/L*2片；

3.0mol/L*2片；4.0mol/L*2片

浓硝酸淋洗，60℃烘干保存

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对6月2日样品进行SEM检测

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实验用具和材料，酸洗、碱洗硅片，保存于无水乙醇中备用

硅片在HF-AgNO3体系中反应，HF溶液浓度为4.0mol/L，AgNO3溶液浓度为

15.0mmol/L

硅片在HF-AgNO3体系中反应，HF溶液浓度为4.0mol/L，AgNO3溶液浓度为

15.0mmol/L，超声波环境中，反应时间为30s，样品数量为12片；反应时间为

90s的两片

在MACE溶液中反应，HF溶液浓度为5.0mol/L，反应时间为30min

H2O2浓度及样品数分别为：0.2mol/L*2片；1.0mol/L*4片（另两片附银时间为

90s）；2.0mol/L*2片；3.0mol/L*2片；4.0mol/L*2片

浓硝酸淋洗，60℃烘干保存

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对一下样品进行XRD检测：

4月30日：60s90s

5月2日：60s-1.0mol/L60s-2.0mol/L

6月2日：30s-0.2mol/L30s-2.0mol/L30s-3.0mol/L

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对6月30日样品进行SEM检测

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实验用具和材料，酸洗、碱洗硅片，保存于无水乙醇中备用

硅片在HF-AgNO3体系中反应，HF溶液浓度为4.0mol/L，AgNO3溶液浓度为

15.0mmol/L

硅片在HF-AgNO3体系中反应，HF溶液浓度为4.0mol/L，AgNO3溶液浓度为

15.0mmol/L，超声波环境中，反应时间为45s，样品数量为12片

在MACE溶液中反应，HF溶液浓度为5.0mol/L，反应时间为30min

H2O2浓度及样品数分别为：0.2mol/L*2片；1.0mol/L*2片；2.0mol/L*2片；

3.0mol/L*2片；4.0mol/L*2片

浓硝酸淋洗，60℃烘干保存

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对8月2日样品进行SEM检测

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实验用具和材料，酸洗、碱洗硅片，保存于无水乙醇中备用

真空蒸发