薄膜物理与技术真空技术基础.ppt

气体流动可按克努森准数来划分：Kn=D/?D为容器尺寸；?为平均自由程分子流状态：Kn?1中间状态：Kn=1~110粘滞流状态：Kn?110气体流动状态与真空系统尺寸和气体压力之间的关系1真空技术基础1.3真空的获得1.3.1气体的流动状态第28页，共50页，星期日，2025年，2月5日目前常用获得真空的设备有：旋转式机械真空泵油扩散泵复合分子泵分子筛吸附泵钛升华泵溅射离子泵低温泵属于气体传输泵，即通过气体吸入并排出真空泵从而达到排气的目的属于气体捕获泵，即通过各种吸气材料特有的吸气作用将被抽气体吸除，以达到所需真空。不需要油作为介质，又称为无油泵1真空技术基础1.3.2真空的获得真空的获得：就是所谓的“抽真空”！?利用各种真空泵把容器内的空气抽出，使其内部压强保持在1atm的特定压强范围！各种真空泵（Pump）第29页，共50页，星期日，2025年，2月5日极限真空（极限压强Pu）和抽气速率——是表示真空泵性能的两个重要参数。极限压强是该系统所能达到的最低压强；抽气速率是在规定压强下单位时间抽出气体的体积，它决定抽真空所需要的时间。理论上，一个系统所能达到的真空度：Pu-真空泵的极限真空（Pa），Q-泵内各种气源（Pa·L/s），S-泵的抽气速率（L/s），V-真空室体积（L），Pi-被抽空间气体的分压强（Pa），t-时间（s）1真空技术基础1.3.2真空的获得第30页，共50页，星期日，2025年，2月5日1.3.2真空的获得真空泵的分类及常用工作压强范围说明：从大气压力开始抽气，没有一种真空泵可以涵盖从1atm到10-8Pa的工作范围

?真空泵往往需要多种泵组合构成复合抽气系统

?实现以更高的抽气效率达到所需的高真空！气体输运泵旋片式机械泵（RotaryPump）单级：105~1Pa双级：105~10-2Pa罗茨泵（BoosterPump/RootsPump）103~10-1Pa油扩散泵（DiffusionPump）1~10-6Pa涡轮分子泵（TurbomolecularPump）1~10-8Pa。。。气体捕获泵溅射离子泵（IonPump）10-3~10-11Pa钛升华泵（TitaniumSublimationPump）10-3~10-11Pa低温冷凝泵（CyroPump）10-4~10-11Pa吸附泵（SorptionPump）102~10-3Pa。。。1真空技术基础1.3真空的获得第31页，共50页，星期日，2025年，2月5日1.3真空的获得－抽真空泵组合例如：油封机械泵＋油扩散泵——10-6~10-8Pa吸附泵＋溅射离子泵＋钛升华泵——10-6~10-9Pa机械泵＋复合分子泵——获得超高真空前级泵次级泵泵1泵2真空室真空室泵1泵2并联可以提高抽速串联可以提高极限真空度从图表中可以看出，没有一种泵能直接从大气一直工作到超高真空。因此常常将几种泵组合使用，实现预定真空。第32页，共50页，星期日，2025年，2月5日1.2真空的获得1.2.1旋片式机械泵（RotaryPump）（a）外观（b）内部结构（c）工作原理1、扩张（吸气）2、容积最大3、压缩4、排气机械泵：利用机械运动部件转动或滑动形成的输运作用获得真空的泵。分类：旋片式（最常见）、定片式、滑阀式运转模式：吸气?压缩?排气（不断循环）基本特点：需加真空油（密封用）；可从大气压开始工作；

真空度要求低?可单独使用；真空度要求高?作为前级泵使用工作区间：单级：105~1Pa；双级：105~10-2Pa优、缺点：结构简单、工作可靠；有油污染的问题（油饱和蒸气压要低）。双级机械泵示意图1真空技术基础1.3真空的获得浸入泵油第33页，共50页，星期日，2025年，2月5日1.2真空的获得1.2.2油扩散泵（DiffusionPump）（a）外观（b）内部结构（c）工作原理真空油历经循环：

蒸发?喷射?碰撞?冷凝?回