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虚拟半导体集束设备软件：从设计理念到开发实践

一、引言

1.1研究背景与意义

半导体作为现代信息技术产业的核心基石，在推动电子设备小型化、高性能化以及智能化进程中扮演着至关重要的角色。从日常生活中的智能手机、平板电脑，到工业领域的自动化控制系统、高端服务器，再到航空航天、国防军事等关键领域，半导体器件无处不在，其应用的广度与深度不断拓展，已成为衡量一个国家科技实力与工业现代化水平的重要标志。

随着半导体行业的迅猛发展，对半导体制造设备的要求也日益严苛。集束设备作为半导体制造过程中的关键装备，将多个具有相关性但功能各异的加工模块集成于一体，实现了晶圆在同一设备内的连续加工，有效减少了晶圆在不同