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智能制造2025年半导体设备研发：技术路线选择与产业变革趋势.docx

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    智能制造2025年半导体设备研发：技术路线选择与产业变革趋势范文参考

    一、智能制造2025年半导体设备研发：技术路线选择与产业变革趋势

    1.技术路线选择

    1.1集成电路制造工艺

    1.2智能制造技术在半导体设备研发中的应用

    2.产业变革趋势

    2.1全球半导体产业竞争加剧

    2.2半导体产业链向我国转移

    2.3政策支持力度加大

    二、半导体设备研发的关键技术及其挑战

    2.1先进封装技术

    2.2晶圆制造技术

    2.3晶圆制造设备的智能化

    2.4人才培养与技术创新

    三、半导体设备产业链协同与创新生态构建

    3.1产业链上下游协同

    3.2创新生态构建

    3.3产业链国际化

    3.4产业

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