原位共焦显微图像振动畸变校正方法研究.pdfVIP

摘要

高能激光实验中存在着大量的高功率光学元件，光学元件是限制实验功率

的关键因素。随着高能激光实验功率的不断提升，对元件口径的要求也越来越

大。然而，实验功率的提升也会带来相应的问题，如光学元件无法承受过高的

功率从而产生损伤，影响实验安全。因此，对大口径光学元件的检测是制约实

验功率提升的关键因素。在传统检测方式中，存在搬运元件及调整元件位姿的

环节，不仅容易对元件造成二次损伤，而且极易引入测量误差。因此需要发展

原位显微测量技术。

以六自由度机械臂承载共焦显微测头的原位显微测量方式，能够解决上述

问题。但由于机械臂本身固有的振动，使共焦显微在成像过程中待测元件与显

微测头之间发生相对位移，从而使显微成像带有振动畸变。本课题通过对机械

臂振动的分析，结合加速度传感器实时测量及图像处理算法，实现了对共焦显

微二维成像及三维成像的畸变校正。同时，对不同成像条件下的样品进行了测

量，具体解决问题如下：

(1)为实现原位共焦显微测量中，对机械臂振动的精确实时测量，采用双频

激光干涉仪及加速度传感器对环境振动分别进行测量。对加速度传感器测量数

据进行去噪处理并积分得到实时的振动位移，分析了加速度传感器测量的数据

特性，并与双频激光干涉仪测量数据进行了对比，验证了基于加速度传感器的

原位显微测量数据去抖方案的可行性，并评估二者的误差对实验的影响。

(2)为确定原位共焦显微二维图像畸变成像过程，基于共焦显微扫描成像

过程，考虑显微成像视场、振动振幅及振动频率，建立共焦显微畸变成像模型，

从理论上阐述振动条件下畸变成像过程。改变振动的频率、振幅以及相位，分

析了不同振动参数对原位共焦显微图像性质的影响，为原位共焦显微去抖模型

的设计提供了参数支撑。基于上述理论对共焦显微成像畸变过程进行仿真，探

索了振动对共焦显微成像的影响。

(3)为了解决由机械臂振动引起的原位共焦显微测量二维图像畸变问题，

以原位共焦显微二维成像畸变模型为理论依据，结合加速度传感器积分数据获

得共焦显微测头实时采样位置，并利用图像插值算法，对畸变图像的非规则采

样进行重采样复原，获得了图像在理想条件下的成像结果。结合图像评价指标，

对二维图像校正效果给予了客观评价。

(4)为了解决共焦显微三维成像畸变问题，结合共焦显微三维成像理论及

质心法，以加速度传感器测量实时振动位移，确定实际三维采样点位置。在三

维扫描中，对每层内的各个点三维位置进行校正，确定扫描位置处的光强。结

合质心法，对三维形貌进行重构。对校正后的三维成像结果进行了评价，并与

处理前的图像进行对比，结合图像评价指标，对校正效果给予了客观评价。

关键词：大口径光学元件；共焦显微；原位测量；机械臂振动；非规则采样；

图像畸变；三维成像

Abstract

Therearealargenumberofhigh-poweropticalcomponentsinhigh-energylaser

experiments,andopticalcomponentsarethekeyfactorlimitingexperimentalpower.

Withthecontinuousimprovementofhigh-energylaserexperimentalpower,the

requirementsforcomponentaperturearealsoincreasing.However,theincreasein

experimentalpowercanalsobringcorrespondingproblems,suchastheinabilityof

opticalcomponentstowithstandexcessivepower,resultingindamageandaffecting

experimentalsafety.Therefore,thedetectionoflargeapertureopticalcomponentsis

akeyfactorthatrestrictstheimprovementofexperimentalpower.Intradi