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2023年大直径硅单晶及新型半导体材料项目可行性研究方案--第1页

大直径硅单晶及新型半导体材

料项目可行性研究方案

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目录

概论4

一、工艺方案的选择.4

(一)、基本要求.4

(二)、典型工艺技术介绍.5

(三)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目组成7

(四)、工艺技术方案的选择.8

(五)、工艺技术方案的设计.10

二、投资估算与资金筹措.11

(一)、投资估算依据及范围.11

(二)、固定资产投资总额.13

(三)、铺底流动资金和建设期利息.16

(四)、资金筹措.17

三、大直径硅单晶及新型半导体材料项目建设目标.18

(一)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目建设目标18

四、大直径硅单晶及新型半导体材料项目建设内容.19

(一)、建筑工程.19

(二)、电气、自动控制系统.21

(三)、通用及专用设备选择.23

(四)、公共工程.24

五、大直径硅单晶及新型半导体材料项目组织管理与招投标26

(一)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目筹建时期的组织与管理26

(二)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目运行时期的组织与管理26

(三)、劳动定员和人员培训.