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仪器的发展20世纪70年代，用于成分分析的X射线能谱仪和电子能量损失谱仪开始使用；20世纪90年代，物镜球差系数校正器的问世使球差系数从正值可变到负值，提高了电子显微镜的分辨率。此外，照明亮度高和能量发散小的场发射电子枪的普及、极大改善电子单色性的能量过滤器的问世、可实现电子显微像和电子衍射花样数字化的慢扫描CCD和电子成像板的使用、仪器的计算机控制等都成为现代高性能分析电子显微镜的基本特征。透射电子显微镜的主要功能成像：明场像，暗场像格子像，原子像衍射电子光学基础——电磁透镜的像差球面像差离光轴远
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