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XPS??谱图分析所有上述各点在分析XPS谱图时都要充分注意。尤其在分析含有几种元素的样品,当心高含量元素的次谱线强度与低含量元素主谱线强度相当,解释谱图时要仔细,更要谨慎。*XPS??XPS分析方法定性分析XPS定性分析是利用已出版的XPS手册。*XPS??定性分析谱线识别(成分分析)因C,O是经常出现的,所以首先识别C,O的光电子谱线C1s、O1s,Auger线CKLL、OKLL及属于C,O的其他类型的谱线。利用X射线光电子谱手册中的各元素的峰位表确定其他强峰,并标出其相关峰,注意有些元素的峰可能相互干扰或重叠。*XPS??定性分析谱线识
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