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高精度超声喷涂制备超薄纳米铜互连接头及其性能的研究
一、引言
随着微电子技术的飞速发展，超薄纳米铜互连接头在微电子封装、集成电路等领域的应用越来越广泛。高精度、高效率的制备技术对于提升互连接头的性能至关重要。本文旨在研究高精度超声喷涂制备超薄纳米铜互连接头的方法，并对其性能进行深入探讨。
二、制备方法
高精度超声喷涂技术是一种新型的纳米材料制备技术，其通过高频超声波振动将喷涂材料雾化成极小的颗粒，并均匀地喷涂在基底上。在制备超薄纳米铜互连接头的过程中，我们采用了该技术，具体步骤如下：
1.制备前处理：对基底进行清洗、抛光等处理，以获得良好的表面质量。
2.制备溶液：将铜盐溶解在适当的溶剂中
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