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MEMS粗糙表面接触特性及影响因素研究

一、绪论

1.1MEMS技术概述

MEMS，即微电子机械系统（Micro-Electro-MechanicalSystems），是一种将微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等多种功能集于一体的微型器件或系统，其内部结构一般处于微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。该系统主要由传感器、动作器（执行器）和微能源三大部分构成。

MEMS的构成融合了多学科的知识与技术，涵盖物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程及生物工程等。它是在微电子技术，即半导体制造技术的基础上发展而来，综合运用了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等多种技术来制作电子机械器件。在材料的选择上，硅是MEMS的主要结构材料，此外，硅化物、金属、合金以及一些聚合物材料也被广泛应用于MEMS的制造中。

MEMS器件依据其技术原理可细分为四类。传感MEMS技术利用微电子微机械加工技术制作，通过敏感元件如电容、压电、压阻、热电耦、谐振、隧道电流等来感受并转换电信号，产品包含速度、压力、湿度、加速度等各种传感器。生物MEMS技术则是采用该技术制造化学/生物微型分析和检测芯片或仪器，能够在一个芯片上实现传统分析实验室的多种功能，具备微型化、集成化、智能化、成本低等特点。光学MEMS，也就是微光机电系统（MOEMS），综合了微电子、微机械、光电子技术等基础技术，可将各种MEMS结构件与微光学器件、光波导器件等集成在一起，形成全新的功能系统，在新型显示、投影设备以及通信系统等领域有着成功应用。射频MEMS技术传统上分为固定和可动两类，固定器件有本体微机械加工传输线等，可动器件包含开关、调谐器等，按技术层面又可分为基本器件、组件以及应用系统等层面。

MEMS凭借其独特的优势，在众多领域得到了广泛应用。在医疗领域，MEMS传感器可用于无创胎心检测，将胎儿心率转换为模拟电压信号，经一系列处理后输出结果，改进后还能实现远程胎心监护，有助于孕妇随时检查胎儿状况。汽车领域中，MEMS压力传感器用于测量气囊压力、燃油压力等，MEMS加速度计则应用于汽车安全气囊系统、防滑系统等。在航空航天领域，惯性MEMS传感器发挥着关键作用，为飞行器的导航、姿态控制等提供重要数据支持。消费电子领域更是MEMS的重要应用阵地，例如智能手机中的MEMS加速度计、陀螺仪，可实现屏幕自动旋转、计步、游戏操控等功能；MEMS麦克风凭借体积小、性能稳定等优点，广泛应用于手机、耳机、智能音箱等设备中。通信领域里，MEMS光开关、滤波器等器件可实现光信号的快速切换和滤波，提高通信系统的性能和容量。工业领域中，MEMS传感器可用于监测工业设备的运行状态，实现故障预警和智能维护，提高生产效率和产品质量。

1.2MEMS粗糙表面接触研究的重要性

在MEMS中，表面接触并非理想的平滑接触，而是粗糙表面间的相互作用。这种粗糙表面接触对MEMS的性能和可靠性有着至关重要的影响。

从性能方面来看，在MEMS传感器中，以压力传感器为例，其敏感元件表面的粗糙度会改变压力传递和感应的均匀性。当粗糙表面接触时，局部应力集中可能导致传感器的灵敏度发生偏差，无法精确地将压力信号转换为电信号，从而影响测量的准确性。在惯性传感器中，如加速度计和陀螺仪，质量块与支撑结构之间的粗糙表面接触会引入额外的摩擦力和力矩。这些额外的力和力矩会干扰质量块的运动，使传感器输出的加速度或角速度信号产生误差，降低传感器的精度，进而影响整个系统的导航、姿态控制等功能。在射频MEMS器件中，信号传输线的表面粗糙度会增加信号传输的损耗。这是因为粗糙表面会引起电流的不均匀分布，产生额外的电阻和电抗，导致信号衰减，影响通信系统的性能和容量。

从可靠性角度而言，MEMS元件尺寸微小，比表面积大，表面效应显著，使得粗糙表面接触带来的问题更为突出。其中，粘附失效是MEMS中常见的失效形式之一。由于表面力如毛细力、分子范德华力和静电力在微纳尺度下作用显著，当粗糙表面的微凸体相互靠近时，这些表面力会使接触表面容易发生粘附。例如，在湿度环境中，水汽会在表面微小空隙中凝聚形成水弯月面，水弯月面产生的毛细力会使接触面相互吸引，导致界面粘附失效，影响MEMS器件的正常运动和功能。磨损也是MEMS器件面临的可靠性问题。相互接触的粗糙表面在相对运动时，凸起点会粘着在一起，表面的相对滑行会造成凸起点磨损或断裂，产生碎屑或颗粒。这些碎屑可能会进一步影响MEMS器件的正常运行，缩短其使用寿命。比如，在微机械结构的运动部件中，磨损会导致部件