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光学薄膜应力：机理、测量与调控的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学系统中，光学薄膜发挥着举足轻重的作用，是实现各种光学功能的关键要素。光学薄膜是一种通过物理或化学方法在光学元件表面沉积的一层或多层薄膜，其厚度通常在纳米到微米量级。这些薄膜凭借光的干涉、衍射、吸收和散射等光学现象，能够对光的传播特性进行精确调控，从而实现诸如增透、反射、分光、滤光、偏振等多样化的光学功能。

在光学成像系统里，为提升镜头的透光率，减少光反射造成的能量损失与杂散光干扰，通常会在镜头表面镀制增透膜，以提高成像的清晰度和对比度。在激光系统中，高反射膜用于构建激光谐振腔，确保激光的高效振荡与输出；而在