晶硅电池制备工艺切片制绒扩散.pptVIP

关键因素的分析

——乙醇或异丙醇的影响气泡的直径、密度和腐蚀反应的速率限定了硅片表面织构的几何特征。气泡的大小以及在硅片表面停留的时间，与溶液的粘度、表面张力有关系。所以需要乙醇或异丙醇来调节溶液的粘滞特性。乙醇的含量在3vol%至20vol%的范围内变化时，制绒反应的变化不大，都可以得到比较理想的绒面，而5vol%至10vol%的环境最佳。第61页，共105页，星期日，2025年，2月5日制绒液中NaOH的浓度为15克/升，反应温度85℃。无乙醇时的绒面形貌：第62页，共105页，星期日，2025年，2月5日乙醇浓度3vol%时的绒面形貌第63页，共105页，星期日，2025年，2月5日乙醇浓度10vol%时的绒面形貌第64页，共105页，星期日，2025年，2月5日乙醇浓度30vol%时的绒面形貌第65页，共105页，星期日，2025年，2月5日关键因素的分析

——不同时间制绒形貌的描述经热的浓碱去除损伤层后，硅片表面留下了许多肤浅的准方形的腐蚀坑。1分钟后，金字塔如雨后春笋，零星的冒出了头；5分钟后，硅片表面基本上被小金字塔覆盖，少数已开始长大。我们称绒面形成初期的这种变化为金字塔“成核”。10分钟后，金字塔密布的绒面已经形成，只是大小不均匀，反射率也降到了比较低的水平。随着时间的延长，金字塔向外扩张兼并，体积逐渐膨胀，尺寸趋于均等。第66页，共105页，星期日，2025年，2月5日制绒液中含有15克/升的NaOH和10vol%的乙醇，温度85℃经过1min制绒的表面形貌第67页，共105页，星期日，2025年，2月5日经过5min制绒的表面形貌第68页，共105页，星期日，2025年，2月5日经过10min制绒的表面形貌第69页，共105页，星期日，2025年，2月5日经过30min制绒的表面形貌第70页，共105页，星期日，2025年，2月5日不同时间制绒后，硅片的反射谱第71页，共105页，星期日，2025年，2月5日工艺控制方法若出现雨点状的斑点，只要加入少量乙醇或异丙醇即可消除。若硅片上端部分光亮，表明液位不够或溶液粘稠度过大，使篮框漂浮起来。若硅片表面有流水印，说明溶液内硅酸钠过量，适当加大NaOH的用量；还有可能喷淋效果不理想。第72页，共105页，星期日，2025年，2月5日硅酸钠含量的检测硅酸钠具体含量测量是没必要的，只要判定它的含量是否过量即可。实验是用100%的浓盐酸滴定，若滴定一段时间后出现少量絮状物，说明硅酸钠含量适中；若滴定开始就出现一团胶状固体且随滴定的进行变多，说明硅酸钠过量。第73页，共105页，星期日，2025年，2月5日制绒岗位须知与步骤制绒须知：了解清洗间使用的各种原辅料的特性（包括：硅片、HF酸、HCL酸、铬酸、酒精、硅酸钠），做到能正确辨别、正确使用。懂得各种溶液的配备及生产过程中的正确防护。保证送入扩散间的硅片与相应的流程卡一一对应，而且数据准确。懂得各《操作记录》及《工序流程卡》的正确填写，确保生产过程中的统计准确。制绒步骤：佩带防护眼镜、口罩、手套－花篮准备－将硅片防入花篮－机器上料－开始制绒－制绒２０分钟－开启制绒槽盖－抽检一片－目视制绒效果（有无白斑）－将硅片放入槽中关闭槽盖－放入水槽－抽检一片－氮气枪吹干－电子显微镜观察绒面－将硅片放入水槽－开启制绒槽－化学品加液－关闭制绒槽盖－制绒完毕－填写表单第74页，共105页，星期日，2025年，2月5日b钢线的运动速度和钢线张力不同，一般机床的钢线运动可以根据需要分为往复运动和单向运动两种形式，在单向运动的情况下，钢线始终保持一个速度和方向运动；在钢线往复运动的情况下，钢线速度是一个先由零点沿一个方向很快（一般2到3秒）加速到规定速度，运行一段时间后，再沿原方向慢慢降低到零点，停顿短暂时间（一般为0.2秒），然后再慢慢地反方向加速到规定的速度，再沿反方向慢慢降低到零点停顿短暂时间（一般为0.2秒）的周期循环过程。线切割机的切割效率在碳化硅切割能力内是随着钢线速度的提高而提高的，超出碳化硅的切割能力范围过快容易造成钢线摆动幅度过大，碳化硅颗粒难以黏附，薄片表面质量下降。超出碳化硅的切割能力范围过慢，切割能力跟不上工件的进给，不仅断线几率增加，而且会造成薄片表面质量严重下降。因此，钢线速度必须和碳化硅的切割能力保持一致，这需要根据经验来判断一般钢线的张力对切割的影响主要有一下3种形式：①如果钢线的张力过小，将会导致钢线弯曲度增大，既线弓过大，钢线