第五节离子束加工.pptVIP

第1页，共26页，星期日，2025年，2月5日离子束加工工艺特点所有特种加工方法中最精密、最微细的加工方法，是当代纳米加工技术的基础。在高真空中进行加工，污染少，适宜加工易氧化的金属、合金材料和高纯度半导体材料。是一种微观作用，所以加工应力与变形极小，且表面质量非常高。第2页，共26页，星期日，2025年，2月5日二、离子束加工的应用离子溅射：离子加速到几十～几千电子伏。离子溅射沉积和离子镀膜原理相同，即用离子轰击靶材，将靶材上的原子击出，沉积在靶材附近的工件上，使工件表面镀上一层薄膜。离子刻蚀：又称离子铣削。离子加速到一万～几万电子伏，且离子入射方向与被加工表面成25～30时，离子可将工件表面的原子或分子逐个撞击出去，实现离子铣削、离子蚀刻或离子抛光等。离子注入：离子加速到几十万电子伏或更高时，离子可穿人被加工材料内部，达到改变材料化学成分目的。第3页，共26页，星期日，2025年，2月5日三、离子束加工装置离子束加工装置：离子源真空系统控制系统电源第4页，共26页，星期日，2025年，2月5日数码离子束缸体硬化处理机采用高能束热处理的原理，它产生的104-5W/cm2以上的高能束定向作用在金属的表面，使之注入在数码离子束缸体硬化处理机，主要侧重于缸体、缸套的网络硬化处理。第5页，共26页，星期日，2025年，2月5日标准型离子束刻蚀机（IBE-150A）本产品是利用低能量平行Ar＋离子束对基片表面进行轰击，表面上未被掩膜覆盖部分的材料被溅射出，从而达到选择刻蚀的目的。（北京创威纳科技有限公司）第6页，共26页，星期日，2025年，2月5日超声加工概念：超声加工是利用工具做超声振动，通过悬浮液中磨料的高速轰击进行加工的方法。第7页，共26页，星期日，2025年，2月5日加工原理与特点超声波发生器将交流电转变为超声频电振荡，由换能器将电振荡变为垂直于工件表面的超声机械振动，再由变幅杆把振幅从0.005mm放大到0.1mm左右。加工时，在工具和工件之间不断注入磨料悬浮工作液，工具端面的超声振动，迫使悬浮液中的磨粒以很大的速度不断撞击、抛磨被加工表面，把工件加工区域的材料粉碎成微粒脱落下来。第8页，共26页，星期日，2025年，2月5日超声加工工艺特点适合于加工各种硬脆材料，特别是不导电的非金属材料，如玻璃、宝石、金刚石。加工精度高、表面质量好。主要靠极细磨料连续冲击去除材料，不会引起变形。采用成形法原理加工，故机床结构简单、操作方便。超声加工的生产率较低。对导电材料的加工效率远不如电火花与电解加工；对软质、反弹性大的材料，加工较为困难。第9页，共26页，星期日，2025年，2月5日二、超声加工的应用第10页，共26页，星期日，2025年，2月5日三、超声波加工机床简介超声波加工机床主要由三部分组成：超声波发生器超声波振动系统机床本体第11页，共26页，星期日，2025年，2月5日CNM-2C超声波研磨机（上海声浦超声波设备厂）磨粒的振动冲击，其频率高、速度极快，这样就促使工件表面上逐渐形成针头截面形状完全相似、光洁度甚高的孔径。第12页，共26页，星期日，2025年，2月5日2000W超声波清洗机轴承、油泵、油嘴，汽缸，机械手表芯和汽车部件等机械零部件的不拆卸清洗、光学零部件清洗、半导体芯片清洗、金属制品的表面处理（如除锈，除油，磷化，钝化等）、酒的陈化处理、种子的超声浮选等等。第13页，共26页，星期日，2025年，2月5日超声波多打孔机用于宝石打孔，可同时加工12-80粒宝石。需要与空心针，打孔模一起使用。第14页，共26页，星期日，2025年，2月5日第15页，共26页，星期日，2025年，2月5日电子束加工电子束加工(EBM)可分成两类：一类称为“热型”，电子束用来把材料加热到局部气化点；另一类称为“非热型”，利用电子束来产生化学反应，即由电子轰击所产生的有机膜层的聚合作用。第16页，共26页，星期日，2025年，2月5日一、加工原理与特点在真空条件下，利用高压静电场(或电磁凸镜)聚焦后能量密度极高的电子束，以极高的速度冲击到工件表面极小的面积上，在极短的时间(几分之一微秒)内其大部分能量转换为热能，使被冲击部分的工件材料达到几千度以上的高温。第17页，共26页，星期日，2025年，2月5日电子束加工的特点一种精密细微的加工方法，能加工细微深孔、窄缝、半导体集成电路等；材料范围较广:对脆性、韧性、导体非导体及半导体材料都可以加工；加工速度快，效率高；加工工件不易产生宏观应力和变形；便于计算机自动控制；设备价格较贵，成本高。