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1.光刻机：工业皇冠上的明珠5
1.1光刻是芯片制造的关键工艺，光刻机是核心设备5
1.2掩膜光刻和直写光刻各有不同应用，投影式光刻逐渐替代接触/接近式5
1.3提升光刻机分辨率路径：更短波长、增大数值孔径7
1.4全球市场规模超300亿美金，ASML一家独大9
2.美对华加大半导体技术封锁，光刻机自主可控迫在眉睫11
2.1国内晶圆制造产业加速扩张，光刻机需求持续增长1
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