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《纳米制造关键控制特性第6-10部分:石墨烯基材料薄层电阻太赫兹时域光谱法》标准发展报告
StandardforNanomanufacturing—KeyControlCharacteristics—Part6-10:Graphene-BasedMaterials—SheetResistance—TerahertzTime-DomainSpectroscopyMethod
摘要
石墨烯因其优异的电学性能在电子、能源、传感器等领域具有广泛应用前景,但传统测试方法(如四探针法、微波谐振腔法等)难以满足大尺寸石墨烯薄膜的无损、高精度测量需求。本报告围绕《纳米制造关键控
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