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2025年半导体设备研发:技术路线选择与产业升级趋势报告范文参考
一、2025年半导体设备研发:技术路线选择与产业升级趋势
1.1.行业背景
1.1.1我国半导体产业面临挑战
1.1.2政策支持与技术突破
1.2.技术路线选择
1.2.1先进制程技术
1.2.2设备集成与创新
1.2.3绿色环保与节能减排
1.3.产业升级趋势
1.3.1产业链本土化
1.3.2产业链协同创新
1.3.3国际化战略布局
二、半导体设备研发关键技术与挑战
2.1.光刻技术
2.1.1光源技术的突破
2.1.2光刻机的分辨率提升
2.1.3光刻胶的研发
2.2.刻蚀技术
2.2.1刻蚀工艺的
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