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《微射流激光先进设备技术要求》团体标准

征求意见稿编制说明

一、任务来源

随着半导体、航空航天等高科技产业的快速发展，对硬脆材料的高质量加工需求日益增加。微射流激

光技术以其独特的优势，在碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料的加工领域得到了广泛应用。同时，该技

术还不断向其他新领域拓展，如超宽禁带半导体材料氧化镓、金刚石等，为这些新兴材料的加工提供了有

力支持。

微射流激光技术，作为细水射流引导激光实现加工的先进技术，其原理是通过将激光和水进行耦合，

让激光在水流内进行全反射，水流则起到类似于光纤的引导作用。这种独特的激光与水射流耦合的加工方

法，不仅实现了高精密的加工精度，还确保了加工区域保持冷却和干净。相较于传统激光点光源的加工方

式，微射流激光技术把点光源变成类似激光剑的线光源，恒定激光密度能够完成高质量切割壁、无热损伤、

无锥度的高效加工，其能量束有着近150mm的加工深度范围。

随着国家经济刺激政策的实施以及新能源、新技术的应用，中国的化合物半导体行业正在崛起，成为

全球半导体行业中的重要参与者之一。商用微射流激光先进设备的需求不断增长。企业的技术创新和市场

推广，不仅满足了市场对高质量、高效率加工设备的需求，还推动了整个激光产业的升级和发展。

目前，商用微射流激光先进设备相关的国家标准有GB7247.1-2012激光产品的安全第1部分:设备分

类、要求，适用于波长范围在180nm~1m之内的激光产品的激光辐射的安全，商用微射流激光先进设备技术

要求主要针对其设备结构设计要求、激光器性能要求、设备稳定、冷却与散热等，急需立项《商用微射流

激光先进设备技术要求》该标准，商用微射流激光先进设备处于标准空白点,填补标准空白点，能够明确

设备的技术要求、性能指标和安全规范。

先进性与创新性：

1、技术融合创新：首次明确微射流激光设备的技术定位，将微流体技术与激光技术深度融合，突破

传统单一激光设备的应用边界，为材料加工、生物医学等领域提供了更精准、高效的技术工具。

2、智能控制体系设计：提出配备先进数控系统的要求，集成多模式加工支持（如切割、打标、焊接）、

高精度运动控制及实时监控与故障诊断功能，实现设备运行状态的动态感知与主动调控，显著提升操作便

捷性和可靠性。

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3、散热系统优化规范：针对激光器高能耗特性，系统规定了冷却与散热的技术要求（如高效液冷/风

冷方式、温控范围及效率），通过系统化散热设计保障关键部件温度稳定，避免过热导致的性能衰减，延

长设备连续运行寿命。

4、多维度性能指标体系：从激光器核心性能（波长可调性、光束质量）、设备稳定性（温度波动控

制）到加工精度（位置精度、加工精度）等多维度提出技术要求，形成覆盖设备全生命周期的完整指标框

架，确保综合性能的行业领先性。

5、科学的质量验证方法：针对关键参数（如激光波长、冷却效率）制定标准化试验方法，并明确出

厂检验与型式检验的分类规则及抽样方案，通过规范化测试流程保障设备质量一致性，为行业提供可复制

的质量评估依据。

《微射流激光先进设备技术要求》团体标准的制定，具有以下几方面的意义：

1、推动行业技术进步与创新

团体标准的制定，旨在为微射流激光技术领域提供一套明确的技术规范和质量标准。这将鼓励企业加

大研发投入，推动技术创新，促进整个行业技术进步。通过标准的引导，企业能够明确技术发展方向，优

化产品性能，提高产品竞争力，从而推动整个行业的健康发展。

2、提升产品质量与安全性

团体标准的制定有助于统一商用微射流激光设备的技术要求，确保产品质量和性能达到一定水平。这

不仅有助于提升产品的市场竞争力，还能保障用户使用过程中的安全。通过明确的技术指标和性能参数，

制造商可以有针对性地改进产品，减少故障率，提高设备的稳定性和可靠性。

3、促进市场规范化与公平竞争

团体标准的出台有助于规范市场秩序，为行业内企业提供公平竞争的环境。统一的技术要求可以作为

市场准入的门槛，避免低质量产品充斥市场，保护消费者权益。同时，标准的制定也有助于打破行业壁垒，

促进企业间的合作与交流，共同推动行业发展。

4、加强行业自律与品牌建设

通过制定团体标准，行业内的企业将更加注重自身品牌的建设。标准的实施将促使企业加强自律，注