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半导体设备研发2025年：微纳加工技术挑战与机遇.docx

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    半导体设备研发2025年：微纳加工技术挑战与机遇范文参考

    一、半导体设备研发2025年：微纳加工技术挑战与机遇

    1.1.行业背景

    1.2.微纳加工技术挑战

    1.2.1技术难度不断加大

    1.2.2人才短缺

    1.2.3国际竞争激烈

    1.3.微纳加工技术机遇

    1.3.1政策支持

    1.3.2市场需求旺盛

    1.3.3技术创新能力提升

    二、微纳加工技术关键领域与挑战

    2.1.光刻技术

    2.1.1极紫外光（EUV）光刻技术的成熟度

    2.1.2光刻机的精度控制

    2.1.3光刻胶性能提升

    2.2.刻蚀技术

    2.2.1刻蚀选择性

    2.2.2刻蚀均匀性

    2.2.3刻蚀速率

    2.3.离子

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