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探索覆盖聚合物的硅基纳米梁腔：性能、制备与多元应用

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，光子学领域作为现代科学技术的重要组成部分，正不断推动着信息、通信、传感等众多领域的革新与进步。硅基纳米梁腔作为光子学领域的关键元件，凭借其独特的光学特性和微小的尺寸，在过去几十年间吸引了众多科研人员的目光，成为研究的热点之一。

硅基材料在现代半导体工业中占据着举足轻重的地位，其成熟的制备工艺和与现有微电子技术的兼容性，为硅基纳米梁腔的发展提供了坚实的基础。硅基纳米梁腔本质上是一种一维光子晶体谐振腔，通常呈现为与波导尺寸相近的狭窄条状梁，沿着梁的方向刻蚀有周期性的孔，并在中部引入缺陷