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硅基材料表面微纳结构阵列光学特性：从基础到应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学领域中，硅基材料凭借其优异的电学、光学和机械性能，以及与成熟的半导体制造工艺的兼容性，占据着至关重要的地位。随着纳米技术和微加工技术的飞速发展，在硅基材料表面构建微纳结构阵列已成为调控光与物质相互作用的有效手段，为实现新型光学器件和功能提供了广阔的空间。

硅基材料表面微纳结构阵列的光学特性研究具有多方面的重要意义。从基础研究角度来看，它深化了人们对光在微纳尺度下传播、散射、吸收和发射等基本物理过程的理解。微纳结构的特征尺寸与光的波长相当甚至更小，这使得光与结构之间产生了许多新奇的物理现象，如表