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semi标准e77-1014_原创精品文档.pdf

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    semi标准e77-1014如下：

    •该标准主要适用于半导体、光伏等行业。

    •要求检测最小泄漏率为1x10^-9atmcm^3/s。

    •需要注意的是，不同的检测方法和设备可能会对检测结果产生

    影响，因此在进行氦检真空检漏时，应当参考相应的标准，并

    且结合实际情况选择合适的检测方法和设备，以确保检测结果

    的准确性和可靠性。

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