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第1页，共34页，星期日，2025年，2月5日*对磷扩散的认识--什么叫扩散太阳能电池的心脏是一个PN结。PN结是不能简单地用两块不同类型（p型和n型）的半导体接触在一起就能形成的。要制造一个PN结，必须使一块完整的半导体晶体的一部分是P型区域，另一部分是N型区域。也就是在晶体内部实现P型和N型半导体的接触。第2页，共34页，星期日，2025年，2月5日*对磷扩散的认识--什么叫扩散制造PN结，实质上就是想办法使受主杂质（P型），在半导体晶体内的一个区域中占优势，而使施主杂质（N型）在半导体内的另外一个区域中占优势，这样就在一块完整的半导体晶体中实现了P型和N型半导体的接触。第3页，共34页，星期日，2025年，2月5日*对磷扩散的认识--什么叫扩散制作太阳电池的硅片是P型的，也就是说在制造硅片时，已经掺进了一定量的硼元素，使之成为P型的硅片。如果我们把这种硅片放在一个石英容器内，同时对此石英容器内加热到一定温度，并将含磷的气体通入这个石英容器内，这时施主杂质磷可从化合物中分解出来，在容器内充满着含磷的蒸汽。第4页，共34页，星期日，2025年，2月5日*对磷扩散的认识--什么叫扩散在硅片周围包围着许许多多的磷的分子，因此磷原子能从四周进入硅片的表面层，并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散。在有磷渗透的一面就形成了N型，在没有渗透的一面是原始P型的，这样就达到了在硅片内部形成了所要的PN结。----这就是所说的扩散。第5页，共34页，星期日，2025年，2月5日*PN结——太阳电池的心脏扩散的目的：形成PN结第6页，共34页，星期日，2025年，2月5日*太阳电池磷扩散方法１．三氯氧磷（POCl3）液态源扩散２．喷涂磷酸水溶液后链式扩散３．丝网印刷磷浆料后链式扩散第7页，共34页，星期日，2025年，2月5日*第8页，共34页，星期日，2025年，2月5日*扩散装置示意图第9页，共34页，星期日，2025年，2月5日*POCl3简介POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源无色透明液体，具有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄色。比重为1.67，熔点2℃，沸点107℃，在潮湿空气中发烟。POCl3很容易发生水解，POCl3极易挥发。第10页，共34页，星期日，2025年，2月5日*POCl3磷扩散原理POCl3在高温下（600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），其反应式如下：生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反应式如下：第11页，共34页，星期日，2025年，2月5日由上面反应式可以看出，POCl3热分解时，如果没有外来的氧（O2）参与其分解是不充分的，生成的PCl5是不易分解的，并且对硅有腐蚀作用，破坏硅片的表面状态。但在有外来O2存在的情况下，PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气（Cl2）其反应式如下：生成的P2O5又进一步与硅作用，生成SiO2和磷原子，由此可见，在磷扩散时，为了促使POCl3充分的分解和避免PCl5对硅片表面的腐蚀作用，必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气。第12页，共34页，星期日，2025年，2月5日在有氧气的存在时，POCl3热分解的反应式为：POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面，P2O5与硅反应生成SiO2和磷原子，并在硅片表面形成一层磷-硅玻璃，然后磷原子再向硅中进行扩散。第13页，共34页，星期日，2025年，2月5日*影响扩散的因素管内气体中杂质源的浓度扩散温度扩散时间第14页，共34页，星期日，2025年，2月5日*影响扩散的因素管内气体中杂质源浓度的大小决定着硅片N型区域磷浓度的大小。但是沉积在硅片表面的杂质源达到一定程度时，将对N型区域的磷浓度改变影响不大。扩散温度和扩散时间对扩散结深影响较大。N型区域磷浓度和扩散结深共同决定着方块电阻的大小。第15页，共34页，星期日，2025年，2月5日*磷扩散工艺过程清洗饱和装片送片回温扩散关源，退舟方块电阻测量卸片第16页，共34页，星期日，2025年，2月5日*清洗初次扩散前，扩散炉石英管首先连接TCA装置，当炉温升至设定温度，以设定流量通TCA60分钟清洗石英管。清洗开始时，先开O2，再开TCA；清洗结束后，先关TCA，再关O2。清洗结束后，将石英管连接扩散源瓶，待扩散。第17页，共34页，星期日，2025年，2月5日*饱和每班生产前，需对石英管进行饱和。炉温升至设定温度时，以设定流量通小N2（