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飞秒激光内加工三维空腔微结构技术：原理、应用与挑战

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，对微观尺度下材料加工和结构制造的精度、效率以及复杂性提出了越来越高的要求。飞秒激光内加工三维空腔微结构技术作为一种前沿的微纳加工手段，在众多领域展现出了巨大的应用潜力，其重要性不言而喻。

在现代制造业中，高精度、微型化的零部件需求日益增长。飞秒激光内加工三维空腔微结构技术凭借其独特的优势，为制造复杂微纳结构提供了新途径。例如，在微机电系统（MEMS）制造中，利用该技术可以在微小的芯片上构建出高精度的三维空腔微结构，用于制作微型传感器、执行器等关键部件，有效提升MEMS器件的性能和集