基于朗缪尔双探针的电弧离子镀等离子体参数精准诊断研究.docx

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2025-08-04 发布于上海
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基于朗缪尔双探针的电弧离子镀等离子体参数精准诊断研究.docx

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基于朗缪尔双探针的电弧离子镀等离子体参数精准诊断研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在材料表面处理领域，电弧离子镀（ArcIonPlating,AIP）作为物理气相沉积（PVD）技术中的关键方法，凭借其独特优势在众多工业领域得到广泛应用。它能在材料表面镀制各种薄膜，极大地改善材料的表面性能，如提高材料的耐磨性、耐腐蚀性、硬度以及装饰性等。例如在航空航天领域，飞行器的零部件在复杂的高空环境中，面临着强烈的气流冲刷和腐蚀，通过电弧离子镀技术镀制的高性能薄膜，可有效提升零部件的耐磨与耐腐蚀性能，确保飞行器的安全稳定运行；在机械制造行业，机械零件长期承受摩擦和磨损，利用电弧离子镀制备的硬质